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张吉人

作品数：3 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院成都有机化学研究所更多>>
相关领域：一般工业技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体聚合
  • 1篇碳膜
  • 1篇涂层
  • 1篇离子
  • 1篇晶态
  • 1篇晶形
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石碳膜
  • 1篇化学性质
  • 1篇非晶
  • 1篇非晶态
  • 1篇非晶碳
  • 1篇高聚物
  • 1篇高聚物结构
  • 1篇保护层

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇张吉人
  • 3篇曹伟民
  • 1篇周坤麟
  • 1篇周瑞花

传媒

  • 1篇物理
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇中国兵工学会...

年份

  • 1篇1991
  • 2篇1990
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
等离子体聚合保护层
周坤麟曹伟民张吉人
关键词：等离子体聚合涂层高聚物结构化学性质
等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜
1990年
本文介绍了等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜的制备、性质和结构。以及在晶体管芯柱中的应用结果、解释了绝缘钝化机理．
周坤粦曹伟民张吉人
类金刚石碳膜的组成和结构被引量：4
1991年
用射频辉光放电离解烃制备了类金刚石碳膜。由IR、XPS、AES、Raman、SEM、TEM、TED和元素分析等手段,分析表征了膜的组成、碳原子化学键态和晶形结构。表明膜是sp^3C-C和C-H键为主体的非晶态,在非晶碳基质中存在一定的微晶石墨和金刚石成分。
周坤遴曹伟民周瑞花张吉人
关键词：类金刚石碳膜晶形非晶碳非晶态
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