张均
- 作品数：7 被引量：35H指数：4
- 供职机构：四川大学电子信息学院更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程文化科学更多>>
- 微光学元件面形的数字刀口检测技术被引量：11
- 2004年
- 微列阵光学元件的质量评价是光学测量中的一项新课题。将传统的刀口检测技术进行数字化改进后,用于微光学元件的面形检测,具有实时、定量、精度高的特点,在光学元件质量评价中有着重要意义。介绍了应用数字刀口检测反射式微镜列阵面形质量的原理和实验装置,详细论述了对CCD采集的阴影图进行图像处理的关键步骤:(1)精确测定每个像素的暗场阈值所对应的刀口位置;(2)确定与像素相应的面形区域的倾角误差;(3)对面形进行重构。最后结合具体实验进行了分析和讨论,实验所测得的面形误差为nm量级。
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- 关键词：面形检测数字化光学测量
- 样本容量对子孔径拼接检测精度影响的分析被引量：7
- 2005年
- 应用数理统计理论及线性回归分析方法详细分析了在子孔径拼接检测中样本容量对测量精度的影响,通过计算确定了当子孔径拼接干涉检测中样本容量大于10 4时,即可保证检测精度,又能减小计算的复杂程度。
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- 关键词：子孔径拼接
- 样本容量对子孔径拼接检测精度影响的分析被引量：4
- 2005年
- 应用数理统计理论及线性回归分析方法,详细分析了在子孔径拼接检测中样本容量对测量精度的影响。通过计算,确定了当子孔径拼接干涉检测中样本容量大于 104 时,既可保证检测精度,又能减小计算的复杂程度。
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- 关键词：子孔径拼接
- 大尺寸球面数字刀口检测技术的研究被引量：2
- 2004年
- 介绍了数字刀口检测原理,建立了检测装置,编制了运算软件,对φ125～150mm口径的球面镜进行检测,获得了面形分布.通过与干涉仪测量结果相比较,验证了数字刀口检测方法的可行性,为镜面误差的加工修正提供了依据.
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- 数字刀口检测技术被引量：13
- 2005年
- 为便捷地定量检测大口径光学元件面形,运用数字刀口检测技术,把传统刀口仪与CCD图像采集处理、计算机辅助计算相结合,构成数字刀口仪。采用图像处理来确定阈值对应的刀口位置,引入PSD来描述频域信息。对125mm和150mm口径的球面镜进行检测,实现了传统刀口仪不能完成的定量检测,获得了面形分布,检测精度P-V值达到0.12λ(λ=532nm)。通过与干涉仪测得P-V值0.057λ相比较,验证了数字刀口检测的可行性,而且得到的数据还可进一步进行像差分析,为镜面误差的加工修正提供依据。
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- 关键词：大口径光学元件计算机辅助计算图像采集处理PSD球面镜干涉仪
- 大口径球面数字刀口检测技术的研究
- 本文介绍了国内外在光学面形检测方面的研究现状和常用的检测方法：阴影法和干涉法。在此基础上，论述了数字刀口检测技术，并利用数字刀口检测技术和相移干涉仪对大口径球面镜进行了检测比对，验证了数字刀口检测技术的可行性。论文研究内...
- 张均
- 关键词：面形检测光学元件
- 文献传递
- 大口径面形的数字刀口检测
- 随着科技发展,对大口径光学元件的检测提出了更新要求。在传统刀口仪的基础上设置实时图像采集处理、计算机辅助计算,构成数字刀口仪,用于面形检测。1.检测原理原理如图1。点光源在O处。∠D′B′O为入射光束OB′和实际法线D′...
- 张均董军张艳张蓉竹蔡邦维
- 文献传递
