张超艳
- 作品数：6 被引量：1H指数：1
- 供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信医药卫生化学工程更多>>
- 大气状态下AFM阳极氧化加工重复性的研究
- 2007年
- 为实现多隧道结和多岛结构,针对室温大气环境下,利用AFM阳极氧化加工方法,对加工LT-GaAs衬底上的nm级厚度的钛膜的重复性进行了研究。本实验在一定的加工条件下,分别加工了点阵列和线阵列,通过最大残差法计算了它们宽度和高度的重复性百分比,得到所有的重复性百分比都小于1%,表明文中所提供的加工条件下,加工钛膜具有很好的重复性。同时,通过点阵列与线阵列的理论变换方法,进一步验证了在加工氧化钛线时采用0.1μm/s扫描速度的正确性。
- 祁森刘庆纲李锁印张超艳胡小唐
- 应用于针灸研究的人体穴位模型
- 2007年
- 为了更好地发展和研究中国的传统医学——针灸,设计了一种新型的用于针灸学研究的人体穴位模型认知系统。该系统采用1片微型处理器(MCU)作为模型的中央控制单元,通过对MCU的I/O口进行扩展,采用计算机高级语言和汇编语言相结合的方式,通过MAX232芯片实现PC和单片机的数据通讯,从而实现PC和人体模型间利用软件控制的输入与输出,进而实现已知经络和全部穴位的显示与认知。整个系统结构简单,运行可靠稳定,使用方便,可广泛应用于中医针灸的理论教学和实践。
- 李一平刘庆纲赵文勇张超艳祁森周桂桐
- 关键词：单片机PC机
- AFM诱导氧化脉冲宽度与Si纳米加工
- 2006年
- 通过对利用原子力显微镜(AFM)阳极诱导氧化作用下在硅表面生成纳米氧化结构的特征的讨论,发现通过改变加工时的偏置电压和脉冲宽度,氧化点高度和宽度与所施加偏置电压呈对数关系,氧化点高度与宽度与脉冲宽度呈指数关系;同时发现在环境温度和氧气浓度保持不变的条件下通过改变加工中的相对大气湿度,氧化点结构的高度和宽度随相对湿度的增加而增加.文中对该现象进行了讨论,并对加工条件进行了优化.
- 刘庆纲何博涛张超艳祁森张世林胡小唐
- 关键词：AFM阳极氧化脉冲宽度偏置电压
- 隧道结TiO_x线宽度对隧穿现象的影响被引量：1
- 2006年
- 在新型超高速光导开关的研究中,采用AFM阳极氧化加工方法,加工利用磁控溅射方法在GaAs衬底得到的厚约3nm的钛膜,形成纳米级氧化钛线.该Ti-TiOx-Ti形成MIM隧道结作为光导开关的基本结构,并且TiOx作为电子的能量势垒.为说明氧化线的宽度对隧穿现象的影响,确定加工超高速光导开关时不引起隧穿的最窄线宽及其实验条件,通过控制空气中的相对湿度,在加工速度、氧气浓度和偏置电压不变的条件下,加工出宽度分别为15·6,34·2和46·9nm的钛氧化线,测试了不同宽度氧化线隧道结的I-V特性.结果表明,在两电极的偏压为6V时不引起隧穿的前提下,可以在超高速光导开关两电极间加工最小宽度大约为10nm的氧化钛线.
- 张超艳刘庆纲李敏匡登峰郭维廉张世林胡小唐
- 关键词：AFM阳极氧化隧道结
- 基于角度测量的三角法测距误差补偿装置
- 本发明公开了一种基于角度测量的三角法测距误差补偿装置，属于三角法测距的误差补偿技术。该装置包括垂直入射三角法测距装置的准直光源、凸透镜、被测物体表面或物体表面的反射镜，以及凸透镜后边的反射镜、光电接收器，其特征还包括光学...
- 刘庆纲李志刚李德春徐美健李一平张超艳
- 文献传递
- 超高速光电导开关微纳加工方法的研究
- 纳米技术发展的最终的目的是加工出特定功能的纳米器件。本文结合光刻工艺、磁控溅射技术和AFM阳极氧化方法加工了超高速光电导开关和隧道结结构，并对它们进行了系统的研究和分析，主要研究内容如下：
1.从理论和实验两方...
- 张超艳
- 关键词：光电导开关微纳加工光刻工艺磁控溅射技术
- 文献传递
