曾欢欢
- 作品数：13 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电子电信更多>>
- 聚酰亚胺集成温湿压传感器的研制
- 温度、湿度和压力参数的测量不仅与日常生活密切相关，在工业生产、气象预报、气候分析、环境监测、航空航天等领域的应用也十分广泛。小尺寸、低功耗、低成本的单片集成传感器可以满足大规模、一次性使用的要求，特别是在气象一次性使用中...
- 曾欢欢
- 关键词：聚酰亚胺集成传感器温度补偿
- 文献传递
- 基于聚合物材料的单片集成温度、湿度、压力传感器芯片
- 一种基于聚合物材料的单片集成温度、湿度、压力的传感器芯片。在基片上制作出平行极板和三个电阻，其中平行极板是测量湿度的电容的一个电极，电阻作为测量压力的应变电阻和测量温度的热敏电阻。在平行极板上和电阻上制作一层聚合物，分别...
- 赵湛王奇曾欢欢方震张博军
- 文献传递
- 聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进
- 聚酰亚胺(PI)电容式湿度传感器的新型设计简化了工艺流程,避免引线台阶式引出时可能出现的脱落、断裂等问题;改进了温度补偿电极的位置及结构;分析了平板式电容式传感器的等效电路及简化条件,以及PI薄膜的厚度与亚胺化温度对吸湿...
- 曾欢欢赵湛王奇方震张博军
- 关键词：湿度传感器电容式
- 文献传递
- 探空温湿压系统研制
- 2005年
- 介绍了用于测量大气湿度、温度和气压探空集成传感器系统.利用集成温湿压传感器采集信号,测量采用24位AD精度MCU,借助CC1000将信号调制,MAX2235将信号功率放大无线发送.给出了集成温湿压传感器结构、测量系统的原理、测量系统的硬件框图及关键软件的设计流程.实验结果证明:该系统在满足测量精度的条件下,降低了系统的体积和成本.
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- 关键词：MEMSCC1000
- 基于氮化硅的压力传感器以及算法补偿被引量：1
- 2006年
- MEMS技术制造的传感器具有体积小、重量轻、成本低等特点。用于测量大气气压的传感器,主要材料是硅、氮化硅和铂金,氮化硅薄膜形成了传感器的主要结构。这种压力传感器与一般传感器相比具有结构简单、工艺易于实现以及精度高等优点。设计了工艺过程,制作了器件样片,并算法补偿了温度对传感器的影响。
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- 关键词：MEMS压力传感器氮化硅温度
- 基于MEMS技术的温湿压集成传感器
- 2005年
- 介绍了一种具有新结构的温湿压集成传感器,分别采用了热敏电阻法测量温度、导热检测法检测湿度、应变电阻法检测压力.这种集成传感器主要是采用硅、氮化硅和铂金为材料制作的.测量温度和湿度的铂金电阻都在悬空氮化硅薄膜上,测量压力的压力敏感膜也是由悬空氮化硅薄膜形成的.这种传感器与一般的集成传感器相比,具有结构简单、工艺简单、精度高的优点.
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- 关键词：MEMS氮化硅
- 聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进
- 本文对聚酰亚胺(PI)电容式湿度传感器的新型设计简化了工艺流程,避免引线台阶式引出时可能出现的脱落、断裂等问题;改进了温度补偿电极的位置及结构;分析了平板式电容式传感器的等效电路及简化条件,以及PI薄膜的厚度与亚胺化温度...
- 曾欢欢赵湛王奇方震张博军
- 关键词：湿度传感器聚酰亚胺电容式反应离子刻蚀
- 文献传递
- 聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进被引量：1
- 2005年
- 聚酰亚胺(PI)电容式湿度传感器的新型设计简化了工艺流程,避免引线台阶式引出时可能出现的脱落、断裂等问题;改进了温度补偿电极的位置及结构;分析了平板式电容式传感器的等效电路及简化条件,以及PI薄膜的厚度与亚胺化温度对吸湿性能的影响.研究了反应离子刻蚀(RIE)对完成电极腐蚀后的芯片进行高选择比的各向异性刻蚀及对湿度响应的影响,结果表明增大了PI与周围环境的接触面积,提高了响应速度.
- 曾欢欢赵湛王奇方震张博军
- 关键词：湿度传感器电容式
- 基于MEMS技术的温湿压集成传感器
- 本文介绍了一种具有新结构的温湿压集成传感器,分别采用了热敏电阻法测量温度、导热检测法检测湿度、应变电阻法检测压力.这种集成传感器主要是采用硅、氮化硅和铂金为材料制作的.测量温度和湿度的铂金电阻都在悬空氮化硅薄膜上,测量压...
- 王奇曾欢欢方震赵湛张博军
- 关键词：MEMS氮化硅
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- 基于MEMS技术的温湿压集成传感器
- 介绍了一种具有新结构的温湿压集成传感器,分别采用了热敏电阻法测量温度、导热检测法检测湿度、应变电阻法检测压力。这种集成传感器主要是采用硅、氮化硅和铂金为材料制作的。测量温度和湿度的铂金电阻都在悬空氮化硅薄膜上,测量压力的...
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- 关键词：MEMS氮化硅
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