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超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统被引量：17: 2017年; 开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度,提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理,设计了测量系统,提出了基于Elden公式的系统死程误差建模方法。设计制造了尺寸仅为48mm×48mm×18mm的光栅干涉仪。基于误差模型计算了死程误差,计算结果表明:对于1.52mm死程的光栅干涉仪,宽松的环境波动指标(温度波动为0.01℃、压力梯度为±7.5Pa、相对湿度波动为1.5%、CO2含量波动为±50×10-6)仅引起±0.05nm的死程误差。最后,设计了基于商用双频激光平面镜干涉仪的测量比对系统,开展了光栅干涉仪原理验证实验和测并量稳定性实验。原理验证实验表明:光栅干涉仪原理正确且系统分辨率达0.41nm。测量稳定性实验表明:常规实验室环境下,环境波动引起的死程误差为7.59nm(3σ)@<0.9Hz&1~10Hz,优于同等环境条件下平面镜干涉仪的31.11nm(3σ)@<0.9Hz&1~10Hz。实验结果显示系统具有很高的环境鲁棒性。; 王磊杰张鸣朱煜鲁森杨开明; 关键词：光栅干涉仪外差干涉仪

具有冷却系统的直线电机: 本实用新型提供一种具有冷却系统的直线电机，应用于直线电机技术领域，电机定子或\和电机动子配置有该冷却系统；电机定子包括定子基座、定子壳体与定子线圈单元，定子基座连接于定子壳体内并构造出腔体，定子线圈单元的端部或全部没入所...; 黄晓路张鸣朱煜刘相波黄河殷凤志

一种基于磁场信息的平面二自由度位移测量方法: 本发明是一种基于磁场信息的平面二自由度位移测量方法，该方法利用非周期磁场信息实现位移测量，在相对运动的物体上分别固定永磁体和磁传感器阵列，永磁体产生磁场信息，按一定规则布局的磁传感器阵列检测磁场信息。该发明中采用勒让德正...; 胡金春朱煜杜胜武韩如锦田畅张鸣尹文生成荣; 文献传递

平面电动机气隙电感计算模型被引量：1: 2010年; 介绍了一类应用于平面电动机的、具有多相绕组配置的、有铁心式电枢(简称平面电枢)的结构特点,建立了此类平面电枢的磁动势基波函数。利用磁场基本定律和磁场能量计算方法,推导了气隙磁场能量表达式。根据电感的基本定义,在气隙磁场能量表达式中,引入电感(包括自感和互感)系数。基于微积分即级数理论,对电感系数表达式进行简化,获得形式简单的电感计算模型。针对对称运行模式,获得了主电感和谐波漏磁电感的计算公式。此工作不仅解决了平面电动机主电感计算问题,而且,将传统电机学理论中的一维分布绕组电感计算方法拓展到二维平面分布绕组的主电感计算场合。; 曹家勇朱煜尹文生; 关键词：平面电动机

一种电动式磁悬浮双框架动量球装置: 本发明公开了一种电动式磁悬浮双框架动量球装置，用于航天器姿态控制系统执行机构。由电动式磁悬浮驱动电机模块、内调节框架、外调节框架及端部支承锁紧机构组成，电动式磁悬浮驱动电机模块通过轴和支承锁紧机构与内调节框架连接，内调节...; 朱煜张鸣怀周玉陈安林杨开明成荣李鑫王磊杰; 文献传递

一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构: 一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构，包括下永磁体、上永磁体、橡胶片、下永磁体固定板、橡胶固定座、上永磁体固定板、橡胶压块和橡胶片外缘固定压环；其中永磁体垂直方向磁化，且同极相对。该对永磁体在斥力的作用下形成一...; 朱煜徐登峰李强张鸣尹文生杨开明李玉洁许岩田丽雷忠心张利; 文献传递

一种双频激光干涉仪多轴位移信号处理方法: 一种双频激光干涉仪多轴位移信号处理方法，该方法是将双频激光干涉仪的多轴测量信号和参考信号滤波放大，在保证高速模数转换器的孔径时间足够小且测量触发时钟同步驱动高速模数转换器与高速现场可编程逻辑门阵列的情况下，采用高速模数转...; 朱煜胡金春尹文生陈龙敏杨开明张鸣徐登峰穆海华胡楚雄刘召

一种精密旋转工作台测量系统误差在位自标定方法: 一种精密旋转工作台测量系统误差在位自标定方法，属于精密加工及测量领域。该方法用带扇形刻线的玻璃板做辅助测量装置，将其固定于旋转工作台上，用旋转工作台带有的角度传感器读出玻璃板上每根扇形刻线对应的角度；然后将玻璃板相对旋转...; 朱煜胡楚雄胡金春马竞徐登峰张鸣成荣

一种光栅外差干涉自准直测量装置: 一种光栅外差干涉自准直测量装置，该装置主要包括双频激光器、1/4波片、分光系统、光电转换系统、偏振分光镜、反射镜和光栅。激光器射出双频激光通过1/4波片后，变为两束相互垂直的线偏振光。进入分光系统后被分为三路，一路进入参...; 朱煜胡金春陈龙敏成荣高阵雨杨开明; 文献传递

电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台: 电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台，属于精密微动台技术领域。为了增强平面三自由度精密微动台电磁推力的线性特性、降低对象控制的难易程度、增大峰值推力、提高响应速度，本发明公开一种电磁力并联驱动平面三自由度精密微动台，包...; 汪劲松朱煜曹家勇尹文生段广洪杨一博; 文献传递

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朱煜