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熬金平
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中国电子科技集团第十三研究所
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合作作者
曾庆明
中国电子科技集团第十三研究所
李献杰
中国电子科技集团第十三研究所
张荣桂
中国电子科技集团第十三研究所
张文俊
中国电子科技集团第十三研究所
阎发旺
中国电子科技集团第十三研究所
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作者
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熬金平
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刘伟吉
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梁春广
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曾庆明
年份
1篇
2003
1篇
2001
共
2
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量子线场效应晶体管的制备方法
本发明公开了一种量子线场效应晶体管的制备方法。该方法具有工艺简单,可重复性强,制造成本低等特点。量子线结构材料是利用分子束外延设备,通过控制生长温度、元素蒸气压比、生长速率和生长时间等条件自组织实现的,它不涉及光刻、外延...
阎发旺
梁春广
张文俊
李献杰
张荣桂
曾庆明
熬金平
刘伟吉
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量子线场效应晶体管结构材料及器件制备方法
本发明公开了一种量子线场效应晶体管结构材料及器件制备方法。该方法具有工艺简单,可重复性强,制造成本低等特点。量子线结构材料是利用分子束外延设备,通过控制生长温度、元素蒸气压比、生长速率和生长时间等条件自组织实现的,它不涉...
阎发旺
梁春广
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曾庆明
熬金平
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