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文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇生长速率
  • 2篇生长温度
  • 2篇子线
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子学
  • 2篇量子
  • 2篇量子线
  • 2篇晶体管
  • 2篇分子束
  • 2篇分子束外延
  • 2篇场效应
  • 2篇场效应晶体管

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇熬金平
  • 2篇刘伟吉
  • 2篇梁春广
  • 2篇阎发旺
  • 2篇张文俊
  • 2篇张荣桂
  • 2篇李献杰
  • 2篇曾庆明

年份

  • 1篇2003
  • 1篇2001
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
量子线场效应晶体管的制备方法
本发明公开了一种量子线场效应晶体管的制备方法。该方法具有工艺简单,可重复性强,制造成本低等特点。量子线结构材料是利用分子束外延设备,通过控制生长温度、元素蒸气压比、生长速率和生长时间等条件自组织实现的,它不涉及光刻、外延...
阎发旺梁春广张文俊李献杰张荣桂曾庆明熬金平刘伟吉
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量子线场效应晶体管结构材料及器件制备方法
本发明公开了一种量子线场效应晶体管结构材料及器件制备方法。该方法具有工艺简单,可重复性强,制造成本低等特点。量子线结构材料是利用分子束外延设备,通过控制生长温度、元素蒸气压比、生长速率和生长时间等条件自组织实现的,它不涉...
阎发旺梁春广张文俊李献杰张荣桂曾庆明熬金平刘伟吉
文献传递
共1页<1>
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