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王云庆
作品数:
15
被引量:22
H指数:3
供职机构:
清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
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发文基金:
“八五”国家科技攻关计划
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
机械工程
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合作作者
李庆祥
清华大学机械工程学院精密仪器与...
周兆英
清华大学机械工程学院精密仪器与...
薛实福
清华大学机械工程学院精密仪器与...
白立芬
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐毓娴
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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自动检测系统
机构
15篇
清华大学
作者
15篇
王云庆
12篇
李庆祥
10篇
周兆英
8篇
薛实福
2篇
白立芬
1篇
于水
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徐毓娴
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仪器仪表学报
2篇
清华大学学报...
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1篇
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1篇
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1篇
现代计量测试
1篇
电子工业专用...
1篇
实验技术与管...
年份
2篇
2000
2篇
1998
2篇
1997
7篇
1996
1篇
1995
1篇
1994
共
15
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微细台阶测量中工作台的模糊控制
1996年
在微细台阶的自动测量中,采用模糊控制的原理,使工作台运行达到快速、准确、平稳。
王云庆
李庆祥
周兆英
关键词:
工作台
模糊控制
自动检测系统
智能化的微细台阶测量系统
1996年
智能化的微细台阶测量系统王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英(清华大学)0引言在半导体生产工艺中,对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、...
王云庆
李庆祥
薛实福
周兆英
关键词:
智能化
测量系统
工作台
触针对LSI生产中膜层台阶表面测量的影响
1995年
接触式台阶测量仪是LSI生产工艺中的重要检测仪器,其中,触针是关键部件之一。本文叙述了触针对膜层台阶表面测量的影响,包括:触针的形状、尺寸对表面形貌测量中的水平分辨力的限制;选择合适的触针测量力及针尖形状,实现对样本表面的无损测量。同时,本文推导出相应的公式,为提高触针测量的精度提供了理论依据。
王云庆
李庆祥
薛实福
周兆英
关键词:
集成电路
十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验
被引量:1
2000年
台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件,它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验,实验证明,此测量机构有运动灵活、回转精度高、测量力小、调整方便、抗疲劳性好,使用中无磨损、不需润滑、工作稳定可靠等特点,该机构台阶测量仪的要求。
于水
白立芬
李庆祥
王云庆
关键词:
弹性支承
微细台阶测量中的非线性误差及消除
1996年
为了实现高精度的台阶测量,本文推导出触针位移与差动变压器式位移传感器(LVDT)磁芯轴向位移之间的传递关系,分析了其中存在的非线性二次项误差。并通过合理设计传感器的安装角度,消除了这一误差,保证了测量结果是被测台阶表面的真实反映。
王云庆
李庆样
周兆英
亚微米微位移工作台升降模糊控制系统
1998年
对微位移工作台升降运动的精确控制是实现大规模集成电路中薄膜台阶高度测量自动化的关键。本文介绍了一种新型的微位移工作台升降模糊控制系统,它具有亚微米级的运动精度,保证了工作台升降快速、准确,运行平稳,对触针无冲击。在台阶高度测量中,应根据被测样品材料选择适当的测量力,该文测量力的设定是通过工作台上升或下降到相应位置来完成的。实验表明:工作台上升时间仅10s左右,测量力设定误差小于6μN。
王云庆
李庆祥
周兆英
关键词:
工作台
模糊控制
大规模集成电路
LSI 薄膜台阶测量仪的研制
被引量:3
1998年
本文介绍了一台实用化的用于LSI薄膜台阶在线检测的台阶测量仪,它采用精密机械——LVDT——信号处理——计算机控制的方案。使用方便,实现了台阶的自动测量。实验表明:仪器重复测量精度可达±0.0147μm,很好地满足了LSI生产线上的要求。
王云庆
李庆祥
薛实福
周兆英
关键词:
模糊控制
十字片簧弹性支承测量机构的特性分析与设计
被引量:3
1997年
在触针式轮廓测量仪中,性能优良的测量机构是保证触针与被测表面之间“接触测量”的关键部件。本文采用十字片簧弹性支承作为触针的运动支承,并在其特性分析的基础上,进行了参数设计。实验测得:测量力变化率为35.6N/m,固有频率达到19.2Hz。最后,通过仿真实验得到测量机构运动中回转中心偏移情况。
王云庆
李庆祥
薛实福
周兆英
关键词:
特性分析
接触式轮廊测量中触针测量力的分析
被引量:4
1996年
接触式轮廓测量仪中,适当测量力的施加是十分重要的,本文介绍了依靠十字片簧弹性支承变形来提供测量力的测量机构.在分析其动态特性的基础上,导出了触针测量力的变化规律。
王云庆
李庆祥
周兆英
关键词:
轮廓仪
测量力
纳米级精度的线宽测量仪
被引量:2
1994年
在大规模集成电路生产中,对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度,自动化的线宽测量仪。阐述了其原理,构成及设计中有关问题。经实验表明:该仪器的重复测量精度≤±0.005μm;测量精度为±0.02μm。
王云庆
李庆祥
薛实福
周兆英
关键词:
线宽测量
显微镜
集成电路
纳米级
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