您的位置： 专家智库 > >

王云庆

作品数：15 被引量：22H指数：3
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文基金：“八五”国家科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇期刊文章
  • 2篇学位论文

领域

  • 6篇电子电信
  • 5篇机械工程
  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇理学

主题

  • 4篇弹性支承
  • 4篇电路
  • 4篇支承
  • 4篇模糊控制
  • 4篇集成电路
  • 3篇工作台
  • 2篇微细
  • 2篇轮廓仪
  • 2篇LSI
  • 2篇测量力
  • 2篇大规模集成电...
  • 1篇行波管
  • 1篇亚微米
  • 1篇栅网
  • 1篇智能化
  • 1篇特性分析
  • 1篇图象
  • 1篇图象处理
  • 1篇曲率半径
  • 1篇自动检测系统

机构

  • 15篇清华大学

作者

  • 15篇王云庆
  • 12篇李庆祥
  • 10篇周兆英
  • 8篇薛实福
  • 2篇白立芬
  • 1篇于水
  • 1篇徐毓娴

传媒

  • 4篇仪器仪表学报
  • 2篇清华大学学报...
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇机电工程
  • 1篇机械设计
  • 1篇测控技术
  • 1篇现代计量测试
  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇实验技术与管...

年份

  • 2篇2000
  • 2篇1998
  • 2篇1997
  • 7篇1996
  • 1篇1995
  • 1篇1994
共 15 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
微细台阶测量中工作台的模糊控制
1996年
在微细台阶的自动测量中，采用模糊控制的原理，使工作台运行达到快速、准确、平稳。
王云庆李庆祥周兆英
关键词：工作台模糊控制自动检测系统
智能化的微细台阶测量系统
1996年
智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、...
王云庆李庆祥薛实福周兆英
关键词：智能化测量系统工作台
触针对LSI生产中膜层台阶表面测量的影响
1995年
接触式台阶测量仪是ＬＳＩ生产工艺中的重要检测仪器，其中，触针是关键部件之一。本文叙述了触针对膜层台阶表面测量的影响，包括：触针的形状、尺寸对表面形貌测量中的水平分辨力的限制；选择合适的触针测量力及针尖形状，实现对样本表面的无损测量。同时，本文推导出相应的公式，为提高触针测量的精度提供了理论依据。
王云庆李庆祥薛实福周兆英
关键词：集成电路
十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验被引量：1
2000年
台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活、回转精度高、测量力小、调整方便、抗疲劳性好，使用中无磨损、不需润滑、工作稳定可靠等特点，该机构台阶测量仪的要求。
于水白立芬李庆祥王云庆
关键词：弹性支承
微细台阶测量中的非线性误差及消除
1996年
为了实现高精度的台阶测量，本文推导出触针位移与差动变压器式位移传感器（ＬＶＤＴ）磁芯轴向位移之间的传递关系，分析了其中存在的非线性二次项误差。并通过合理设计传感器的安装角度，消除了这一误差，保证了测量结果是被测台阶表面的真实反映。
王云庆李庆样周兆英
亚微米微位移工作台升降模糊控制系统
1998年
对微位移工作台升降运动的精确控制是实现大规模集成电路中薄膜台阶高度测量自动化的关键。本文介绍了一种新型的微位移工作台升降模糊控制系统，它具有亚微米级的运动精度，保证了工作台升降快速、准确，运行平稳，对触针无冲击。在台阶高度测量中，应根据被测样品材料选择适当的测量力，该文测量力的设定是通过工作台上升或下降到相应位置来完成的。实验表明：工作台上升时间仅１０ｓ左右，测量力设定误差小于６μＮ。
王云庆李庆祥周兆英
关键词：工作台模糊控制大规模集成电路
LSI 薄膜台阶测量仪的研制被引量：3
1998年
本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了ＬＳＩ生产线上的要求。
王云庆李庆祥薛实福周兆英
关键词：模糊控制
十字片簧弹性支承测量机构的特性分析与设计被引量：3
1997年
在触针式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是保证触针与被测表面之间“接触测量”的关键部件。本文采用十字片簧弹性支承作为触针的运动支承，并在其特性分析的基础上，进行了参数设计。实验测得：测量力变化率为３５．６Ｎ／ｍ，固有频率达到１９．２Ｈｚ。最后，通过仿真实验得到测量机构运动中回转中心偏移情况。
王云庆李庆祥薛实福周兆英
关键词：特性分析
接触式轮廊测量中触针测量力的分析被引量：4
1996年
接触式轮廓测量仪中，适当测量力的施加是十分重要的，本文介绍了依靠十字片簧弹性支承变形来提供测量力的测量机构．在分析其动态特性的基础上，导出了触针测量力的变化规律。
王云庆李庆祥周兆英
关键词：轮廓仪测量力
纳米级精度的线宽测量仪被引量：2
1994年
在大规模集成电路生产中，对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度，自动化的线宽测量仪。阐述了其原理，构成及设计中有关问题。经实验表明：该仪器的重复测量精度≤±０．００５μｍ；测量精度为±０．０２μｍ。
王云庆李庆祥薛实福周兆英
关键词：线宽测量显微镜集成电路纳米级
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0