王疆英
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国计量大学更多>>
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- 相关领域：电子电信机械工程文化科学更多>>
- 碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究
- 氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥.通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的...
- 韩建强卢少勇李青王疆英
- 关键词：各向异性腐蚀微电子机械系统
- 文献传递
- 碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究被引量：1
- 2008年
- 氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥。通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的掩膜下腐蚀出高的硅尖。更为重要的是该腐蚀液腐蚀的硅尖异于常规的不对称八棱锥,而是一种半锥角很小的"火箭尖"形状,因此可望获得更好的扫描特性和隧道效应。
- 韩建强卢少勇李青王疆英
- 关键词：硅尖各向异性腐蚀微电子机械系统
- 《应用电化学》双语教学的探索被引量：1
- 2014年
- 双语教学是目前高校公共课和专业课教学的发展趋势.结合中国计量学院双语课程规划及材料科学与工程学院总体课程设计特点,通过教学实践,探讨了开展《应用电化学》课程双语教学对教师的要求,教材的选择以及教学模式的相应改革,为其他相关课程双语教学的开设提供参考.
- 江莉孙丽侠李冬云余云丹王疆英卫国英葛洪良
- 关键词：双语
- 含添加剂的各向异性腐蚀液中实现小掩膜下高硅尖的腐蚀被引量：2
- 2008年
- 各向异性KOH溶液腐蚀硅尖具有简单、易于实现、成本低廉、(100)晶面腐蚀速率均匀等优点。然而在40%KOH溶液中削角速率和(100)晶面的腐蚀速率之比约为1.6～1.9,并且该比值随着KOH浓度的减小而增大。如此高的削角速率会给AFM探针的制作带来技术上的困难。而对腐蚀场发射器件和隧道式传感器的硅尖阵列来说,高的削角速率会减少单位面积内的硅尖数量。本文通过在氢氧化钾(KOH)或者四甲基氢氧化胺(TMAH)溶液中添加适当的添加剂(如异丙醇(IPA)、1,5戊二醇或碘)降低了削角速率,在较小直径的掩膜下腐蚀出高硅尖。实验结果还表明:在TMAH基腐蚀液中每个硅尖的八个快腐蚀面的削角速率几乎相等,硅尖直径偏差较KOH溶液中腐蚀的硅尖直径偏差更小,因此成品率得到了提高。
- 卢少勇韩建强李青王疆英陈志强
- 关键词：硅尖
