王育才
- 作品数：3 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究
- 微机械加速度传感器是一种重要的惯性器件，在航空航天、汽车工业、石油探测和地震预报等领域中有着广泛的应用。电容式加速度传感器由于具有测量精度高、噪声特性好、漂移低、温度敏感性小和功耗低等优点，受到了广泛关注，是当前微硅加速...
- 王育才
- 关键词：微加速度计微机械加工各向异性腐蚀微机械加速度传感器深反应离子刻蚀
- 文献传递
- 一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计被引量：1
- 2007年
- 提出了一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在(111)硅片上制作出了具有信号输出的器件.该加速度计的惯性质量块由同一(111)硅片上下表面对称分布的8根悬臂梁支撑.这些悬臂梁是利用(111)硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀特性结合深反应离子刻蚀(DRIE)实现的,其尺度精确可控,保证了结构的对称性.该加速度计的谐振频率为2·08kHz,品质因子Q为21·4,灵敏度为93·7mV/g.
- 王育才焦继伟段飞张颖宓斌玮李金鹏钱清王跃林
- 关键词：微加速度计微机械加工各向异性腐蚀
- 基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺被引量：3
- 2007年
- 设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺,它以"8悬臂梁-质量块"结构来实现Coriolis力的检测,与常见的单层弹性梁-质量块结构相比,具有更好的模态稳定性;大质量块与薄弹性梁的结构设计有助于获得低机械噪声与高灵敏度.采用体硅微机械加工工艺在(111)硅晶圆上试制了基于"8悬臂梁-质量块"结构的微陀螺,由于在(111)晶向上硅的湿法腐蚀速率极其缓慢,而用氧化硅填充的限制槽限定侧向腐蚀范围,因此这套工艺能对双层弹性梁的结构尺寸进行精确控制,获得较小的模态失配.在大气环境中,该陀螺具有±200°/s的量程,角速度灵敏度为0.15mV/(°/s),分辨率约为0.1°/s.
- 段飞焦继伟王育才张颖宓斌玮李金鹏钱清王跃林
- 关键词：微机械陀螺X轴
