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董立敏
作品数:
1
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供职机构:
北京工业大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
渠红伟
北京工业大学
陈敏
北京工业大学
关宝璐
北京工业大学
达小丽
北京工业大学
王红航
北京工业大学
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中国电子学会...
年份
1篇
2005
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波长可调谐垂直腔面发射激光器可动顶DBR的研究与制备
本文研究、设计了应用在波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)上的MEMS悬臂梁结构,考虑到悬臂梁自身应力的影响,通过PECVD高低频交替生长的办法改变Si3N4薄膜应力,使多层SiO2和Si3N4薄膜之间的应力减小,...
关宝璐
郭霞
王红航
渠红伟
达小丽
董立敏
陈敏
沈光地
关键词:
VCSEL
悬臂梁
调谐
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