为解决基于有机衬底的传统光波导传感器灵敏度低的问题,提出了基于聚合物材料的高灵敏度MZI(Mach-Zehnder Interferometer)波导的传感器结构,从理论上设计了对称形MZI和非对称形MZI的高灵敏度波导传感器结构。得到对称型MZI形波导传感器折射率在1.34~1.36、1.36~1.38和1.38~1.40区间内灵敏度分别为1 850.76 d B/RIU、1995.09 d B/RIU和1 547.30 d B/RIU。圆弧型非对称型MZI波导传感器折射率在1.33~1.35、1.35~1.38和1.38~1.40区间内灵敏度分别为1 719.23 d B/RIU、1 251.68 d B/RIU和2 065.22 d B/RIU。对这两种传感器结构,通过多个波导传感器相集成的设计,可实现材料在折射率1.33~1.40区间内的高灵敏度传感。
