邱轶
- 作品数:5 被引量:23H指数:3
- 供职机构:国防科学技术大学航天与材料工程学院材料工程与应用化学系更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术电气工程航空宇航科学技术更多>>
- SmCo/TbDyFe复合薄膜磁致伸缩特性的研究
- 本文研究了SmCo薄膜及热处理对TbDyFe薄膜磁性及磁致伸缩性能的影响.XRD分析表明制备态的TbDyFe薄膜为非晶态,在500℃退火后样品出现了TbFe<,2>的结晶物.SmCo薄膜的加入以及热处理提高了TbDyFe...
- 邱轶万红斯永敏赵恂
- 关键词:SMCO磁致伸缩
- 文献传递
- SmCo及SmCo//TbDyFe薄膜的制备与研究
- 本论文对磁控溅射制备的SmCo、TbDyFe、SmCo/TbDyFe薄膜性质进行了研究,以期提高TbDyFe薄膜的磁致伸缩性能尤其是在低磁场下的磁致伸缩性能。
通过正交试验法得到了实验条件下...
- 邱轶
- 关键词:磁控溅射SMCO磁性薄膜永磁磁致伸缩退火
- 文献传递
- TbDyFe超磁致伸缩薄膜的低场磁敏特性被引量:13
- 2004年
- 采用磁控溅射法制备了TbDyFe超磁致伸缩非晶薄膜,研究了真空热处理退火及软磁性Fe薄膜的交换耦合作用对TbDyFe超磁致伸缩的低场磁致伸缩性能的影响。研究结果表明:真空退火处理通过改善薄膜的微结构及应力状态,有效地提高薄膜了的低场磁敏性能;易磁化方向平行于膜面的软磁Fe膜的复合,使薄膜平行于膜面的易磁化性能大大提高,复合薄膜的强制磁致伸缩系数(dλ/dH)提高3倍以上。单层薄膜厚度越小,交换作用越强,低场磁致伸缩性能越好;当薄膜厚度大于交互作用距离、薄膜的总厚度不变时,单层薄膜的厚度变化对复合薄膜的磁致伸缩性能没有影响。
- 万红李再轲邱轶斯永敏
- 关键词:超磁致伸缩磁控溅射磁性复合真空热处理
- 磁控溅射制备SmCo薄膜的工艺及磁性研究被引量:6
- 2003年
- 用直流磁控溅射方法制备了SmCo薄膜,通过正交设计实验考察了工艺因素对薄膜沉积速率的影响规律。研究结果表明,影响薄膜沉积速率的主要因素是溅射功率,其次为靶基距,在0.5~2.0Pa的压强范围内,Ar气压强的大小对溅射速率的影响很小。X-射线衍射结果表明:制备态的SmCo薄膜为非晶结构,500℃真空热处理后,薄膜中出现少量的微晶SmCo5化合物。磁性能测试表明:制备态SmCo薄膜的矫顽力随薄膜厚度的增加而显著下降;真空热处理过程中,薄膜结构缺陷及成分起伏减少,薄膜的矫顽力和饱和磁场强度显著下降,初始磁导率和饱和磁化强度显著增加。
- 邱轶万红刘吉燕斯永敏赵恂
- 关键词:直流磁控溅射工艺参数磁化
- 热处理及SmCo磁性层对TbDyFe 薄膜磁致伸缩性能的影响被引量:5
- 2004年
- 研究了SmCo薄膜的复合及热处理对TbDyFe薄膜磁性及磁致伸缩性能的影响。XRD分析表明制备态的TbDyFe薄膜为非晶态,在450℃退火后,样品仍保持非晶态结构。退火处理减少了薄膜的垂直各向异性,并且退火热应力有利于薄膜的易磁化轴转向膜面,从而提高了薄膜的磁导率和TbDyFe薄膜低场下的磁致伸缩值。磁控溅射的SmCo薄膜有良好的软磁性能,它的复合也能有效地增强TbDyFe薄膜的低场磁致伸缩性能。
- 万红邱轶斯永敏赵恂
- 关键词:超磁致伸缩磁控溅射