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陈续凯

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团第二十四研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇旋转角
  • 1篇测量方法

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇刘大永
  • 1篇陈续凯
  • 1篇张丽巍

传媒

  • 1篇微电子学

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种精确的小角度测量方法被引量：2
2004年
　文章介绍了一种精确的小角度测量方法的原理及其应用装置。通过实验对比,验证了该方法的准确性(精度可达2%)。将该方法及装置应用于硅材料纵向杂质分布的扩展电阻测试[1-3],可大大提高浅结结深测量的准确度。
刘大永陈续凯张丽巍
关键词：旋转角
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共1页<1>
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