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陈蓉

作品数：200 被引量：42H指数：4
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学一般工业技术化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 177篇专利
  • 13篇期刊文章
  • 6篇学位论文
  • 3篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 20篇自动化与计算...
  • 19篇文化科学
  • 12篇一般工业技术
  • 8篇化学工程
  • 6篇电子电信
  • 6篇理学
  • 5篇机械工程
  • 4篇经济管理
  • 4篇建筑科学
  • 4篇环境科学与工...
  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇电气工程
  • 2篇交通运输工程
  • 1篇生物学
  • 1篇石油与天然气...
  • 1篇医药卫生
  • 1篇政治法律

主题

  • 70篇原子层沉积
  • 21篇包覆
  • 18篇喷头
  • 18篇催化
  • 17篇前驱体
  • 17篇粉体
  • 17篇催化剂
  • 16篇氧化物
  • 15篇金属
  • 13篇进气
  • 10篇载气
  • 10篇气体
  • 10篇量子
  • 10篇量子点
  • 10篇封装
  • 9篇流化
  • 9篇纳米
  • 7篇氧化物薄膜
  • 6篇氧化物催化剂
  • 6篇渗透率

机构

  • 200篇华中科技大学
  • 2篇南京大学
  • 2篇天津大学
  • 1篇大连理工大学
  • 1篇清华大学
  • 1篇西南交通大学
  • 1篇上海交通大学
  • 1篇西南科技大学
  • 1篇武汉工程大学
  • 1篇国防科技大学
  • 1篇美国德州大学
  • 1篇宁波速美科技...
  • 1篇南方科技大学

作者

  • 200篇陈蓉
  • 151篇单斌
  • 79篇曹坤
  • 38篇文艳伟
  • 33篇刘潇
  • 26篇李云
  • 17篇段晨龙
  • 16篇曲锴
  • 12篇何文杰
  • 12篇张晶
  • 11篇胡镔
  • 10篇王晓雷
  • 8篇杨帆
  • 8篇马玉春
  • 7篇褚波
  • 6篇赵凯
  • 6篇冯子健
  • 6篇朱倩倩
  • 5篇林源
  • 5篇刘媛媛

传媒

  • 4篇金属功能材料
  • 2篇TFC’15...
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇高等工程教育...
  • 1篇材料导报
  • 1篇塑料科技
  • 1篇中国科学基金
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇中国基础科学
  • 1篇印制电路信息
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 15篇2024
  • 9篇2023
  • 15篇2022
  • 24篇2021
  • 27篇2020
  • 27篇2019
  • 22篇2018
  • 17篇2017
  • 16篇2016
  • 11篇2015
  • 11篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2010
  • 1篇2006
  • 1篇2001
共 200 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种原子层沉积前驱体输出装置
本发明公开了一种原子层沉积前驱体输出装置，该输出装置由装载前驱体的钢瓶（101），缓存腔（103），连接所述钢瓶（101）与缓存腔（103）的第一开关阀（102），位于所述缓存腔腔体内且与所述缓存腔腔体气密性良好的运动活...
陈蓉邓章曹坤单斌文艳伟
一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机
本实用新型属于薄膜折弯相关领域，并公开了一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机。该测试机包括底板和设置在该底板上的折弯机构、传动机构和驱动机构，折弯机构包括固定连接在底板上第一托架和第二托架，以及相对设置的第一盖板和第...
陈蓉邢泽华单斌曹坤李云刘媛媛杨惠之
通孔填充方法及通孔填充装置
本发明涉及一种通孔填充方法及通孔填充装置，该通孔填充方法包括以下步骤：在基体上刻蚀通孔，通孔的底壁为第一表面，通孔的侧壁为第二表面；使用ALD工艺将第一前驱体导向所述第一表面和所述第二表面以形成第一填充层；使用CVD工艺...
陈蓉李易诚曹坤单斌张净铭严谨齐子廉
一种基于等离子体增强原子层沉积的薄膜掺杂改性方法
本发明属于薄膜掺杂相关技术领域，并公开了一种基于等离子体增强原子层沉积的薄膜掺杂改性方法，该方法用于在目标基底的表面上沉积多层氮掺杂氧化铝薄膜，并包括下列步骤：对基底的清洁和抽真空等预处理；加热至预设温度，并执行清洗处理...
陈蓉刘媛媛单斌曹坤李云杨惠之
一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置
本发明公开了一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置。模块化喷头包括：前驱体通道组件、密封组件；前驱体通道组件包括板状基体、前驱体通道、气体管路；前驱体通道布置于板状基体正面，自上而下延伸，前驱体通道的顶端连通气体管...
陈蓉王晓雷单斌李云林骥龙马玉春但威
一种基于压电传感的微振动检测器
本发明属于振动检测领域，并公开了一种基于压电传感的微振动检测器。其包括外壳、质量块、导电环、压电传感器以及缓冲单元，质量块设置在外壳的中心，导电环套在质量块的对称两侧，外壳内壁上均匀设置有多个缓冲单元和压电传感器，支撑块...
陈蓉熊英飞单斌李云曹坤完颜剑锋
一种基片取放及转移装置
本发明公开了一种基片取放及转移装置，包括：第一取放组件、第二取放组件以及转移组件；第一取放组件的第一直线动子通过第一气缸带动第一真空吸盘，依次在初始位置、第一反应位置、第一取放位置之间往复运动；第二取放组件的第二直线动子...
陈蓉马玉春单斌王晓雷林骥龙李云
一种核壳结构合金纳米颗粒的制备方法
本发明公开了一种核壳型合金纳米颗粒的制备方法。该方法包括：使用有机硅烷偶联剂在氧化物基底表面生长出自组装单分子层。随后在生长有自组装单分子层的基底表面通过原子层沉积生长一种金属核心，接着在金属核心上通过原子层沉积选择性地...
陈蓉曹坤单斌朱倩倩文艳伟
文献传递
原子层沉积晶圆承载装置和半导体制造设备
本申请涉及一种原子层沉积晶圆承载装置和半导体制造设备。原子层沉积晶圆承载装置包括承载件，一侧具有承载面，多组限位组件，可拆卸地设于承载面上，每组限位组件能够形成一对晶圆的外周进行限位的限位空间，各组限位组件形成的限位空间...
陈蓉胡嘉成曹坤单斌李旺陆朱晖
湖北质监系统省直检验检测机构转企改制研究
质量监督是提升产品质量，保障社会公共安全的需要，更是加快产业升级，促进经济健康有序发展的需要。国有检验检测技术机构是中国政府机构质量监督最有力的技术保障。随着国际贸易额的快速增长，全球化趋势的日趋明显，产品质量检验检测行...
陈蓉
关键词：产品质量检验检测机构SWOT分析
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