何贤昶
- 作品数：46 被引量：224H指数：9
- 供职机构：上海交通大学更多>>
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- 相关领域：金属学及工艺理学电子电信一般工业技术更多>>
- 大面积平坦金刚石薄膜的制备和图形化被引量：15
- 1999年
- 采用直拉热丝ＣＶＤ法沉积了面积３ 英寸的金刚石薄膜。硅衬底在沉积前采用０－５ ～１μｍ 金刚石微粉研磨，使成核密度达１０１０ 个／ｃｍ２ 以上，同时调整沉积工艺，特别是降低沉积气压至０－５ ～１－５ｋＰａ，促进了金刚石的二次成核，使薄膜变得十分平坦，当薄膜厚度为５μｍ 时，表面粗糙度Ｒａ 仅为６０ｎｍ 左右。另外，以铝作为保护膜，用氧离子束刻蚀金刚石薄膜，得到宽度为３ ～５μｍ 的精细金刚石薄膜图形。
- 张志明沈荷生何贤昶万永中杨艺蓉任琮欣
- 关键词：金刚石离子束刻蚀
- 多孔硅层晶格畸变的X射线双晶衍射研究
- 1993年
- 利用X射线双晶衍射方法,对从同一Si(111)基片上切割的两块样品,在不同电解电流密度下,腐蚀形成的多孔硅层相对于基体硅的晶格畸变进行了分析。这两块样品晶格的畸变明显不同。其中电流密度较小的样品畸变较大,其多孔硅层对于基体硅在垂直和平行于晶体表面的方向上,晶格有不同程度的膨胀,搁置一段时间后,两者晶格渐渐匹配,但存在着弯曲。两者的(111)晶面取向亦有偏差。电流密度较大时多孔硅层较厚,其双晶反射强度很低,且弥散地迭加在基体硅反射峰上。
- 何贤昶吴自勤赵特秀吕智慧王晓平孙国喜
- 关键词：多孔硅晶格畸变X射线衍射
- 微波等离子体刻蚀脱碳预处理对金刚石涂层刀具附着力和切削性能的影响被引量：4
- 2000年
- 用 EACVD法在硬质合金 ( YG6)刀具上沉积金刚石涂层 ;用氢微波等离子体刻蚀的方法对基底进行表面预处理 ,以期提高金刚石涂层的附着力和涂层刀具的切削性能 ;附着力采用压痕法计算测定 ,切削性能通过对碳化硅增强铝基复合材料的切削试验测定 ;用 X射线应力仪测试了涂层残余应力 ,并就不同预处理对性能的影响进行了分析和讨论。
- 夏琦张志明沈荷生孙方宏何贤昶
- 关键词：附着力
- 在高速钢和Ｓｉ<,3>Ｎ<,4>基体上生长金刚石涂层的研究
- 何贤昶洪慧珍
- 关键词：高速工具钢金刚石涂层氮化硅
- 氧化铁超微粉相变过程研究被引量：30
- 1994年
- 对用低温ＰＣＶＤ方法制备的氧化铁超微粉从初始生成态到８００℃退火后不同阶段的晶化和相变过程进行了较系统的研究。结果表明，初始生成物为β－Ｆｅ＿２Ｏ＿３，退火后逐渐转变为γ－Ｆｅ＿２Ｏ＿３，继而转变为α－Ｆｅ＿２Ｏ＿３，到８００℃形成单一的α－Ｆｅ＿２Ｏ＿３，这些相变和晶化过程是一种缓慢的渐变过程。
- 冯蕴道何贤昶曾桓兴沈瑜生
- 关键词：氧化铁超微粉相变晶化
- 微波氢等离子体制备金属硅化物薄膜的方法
- 一种微波氢等离子体制备金属硅化物薄膜的方法，用于薄膜制备领域。本发明用微波氢等离子体热处理使纳米级厚度的金属薄膜与硅衬底实现固相反应制备金属硅化物薄膜，首先将纳米级厚度的金属薄膜预沉积于硅衬底上，并置于微波加热装置中的反...
- 沈荷生欧阳斯可戴永兵汪涛何贤昶
- 文献传递
- 冷轧对GH4169合金组织与性能的影响被引量：16
- 2002年
- 采用X射线衍射技术及透射电子显微镜研究了冷轧变形道次及不同变形量对GH416 9合金中金属间化合物γ″相和δ相的分布、形貌、数量及性能的影响。结果表明 :随着变形程度的增加 ,析出相由晶内和晶界析出逐渐转变到形变带及位错墙处析出 ,γ″相的尺寸逐渐减小 ,γ″、δ相的析出含量以及材料的强度逐渐增加。双道次冷轧变形提高了δ相的含量 。
- 李荣斌姚枚刘文昌何贤昶
- 关键词：冷轧GH4169合金析出相
- (ZnGeP_2)_(1-x)(GaP)_(2x)体系相结构及其特性研究
- 1990年
- 研究了(ZnGeP_2)_(1-x)(GaP)_2x体系的相结构,测量了因Ga取代部分Zn和Ge所引起的该体系的电学、光学、机械性能等的变化,并对这些变化的可能原因作了初步的探讨.
- 何贤昶沈荷生
- 关键词：半导体相结构
- 能量粒子轰击金刚石的计算机模拟被引量：1
- 2003年
- 利用Tersoff势和分子动力学方法研究了初始动能为 5 0 0eV的硼粒子注入金刚石的微观行为 .结果表明 :硼注入后产生温度为 5 0 0 0K的热峰 ,其寿命为 0 18ps;同时产生半径为 0 4 5nm局部非晶化区域 ,三重配位原子数占该区域原子数的 7% .薄膜表层原子向内弛豫 ,近表层原子向外弛豫 ,表面层与近表层原子的间距减少了15 % ,表面层表现为压应力 .硼原子以B <110 >分裂间隙的形式存在于金刚石结构中 .
- 李荣斌戴永兵胡晓君沈荷生何贤昶
- 关键词：分子动力学金刚石硼粒子掺杂
- CVD金刚石涂层丝和涂层纤维被引量：3
- 2001年
- 对近年来CVD金刚石涂层丝和涂层纤维以及金刚石涂层纤维复合材料的分类和发展状况做了较全面的介绍 ,并分析了它们的应用前景以及存在的问题。
- 何贤昶沈荷生张志明胡晓君杨小倩万永中
- 关键词：化学气相沉积金刚石薄膜涂层纤维CVD
