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刘小宇
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
马文全
中国科学院半导体研究所
种明
中国科学院半导体研究所
张艳华
中国科学院半导体研究所
陈良惠
中国科学院半导体研究所
霍永恒
中国科学院半导体研究所
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物理学报
年份
2篇
2010
共
2
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10—14μm同时响应的双色量子阱红外探测器
被引量:2
2010年
实现截止波长为11.8和14.5μm双色同时响应的量子阱红外探测器,可以同时工作在8—12μm大气窗口和甚长波波段.在77K下测量到很强的光电流谱.器件结构采取了较为简洁的设计,通过适当增大量子阱结构中势阱的宽度和选择合适的掺杂浓度,在同一偏压下实现了对两个波长的同时响应.两个光响应峰分别为基态到第五激发态和基态到第一激发态的跃迁吸收.
刘小宇
马文全
张艳华
霍永恒
种明
陈良惠
关键词:
量子阱红外探测器
10-14微米同时响应的双色量子阱红外探测器及其制作方法
本发明提供一种10-14微米同时响应的双色量子阱红外探测器的制作方法,包括如下步骤:(A)将一衬底烘干、脱氧,以其作为量子阱红外探测器的承载体;(B)利用外延设备在衬底上依次生长N型掺杂的下欧姆接触层、量子阱层,以及N型...
刘小宇
马文全
张艳华
种明
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