卜敏强
- 作品数：10 被引量：16H指数：1
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 微型光开关研究现状与发展趋势
- 2000年
- 本文简要分析了微型光开关在光纤传感技术与全光通信领域的主要用途 ,介绍了目前利用微细加工技术研制各种类型微型光开关的现状以及存在的问题 ,指出了微型光开关的研究发展方向及其广阔的应用前景。
- 卜敏强叶雄英周兆英
- 关键词：光纤传感全光通信
- SU-8垂直微镜型MEMS光开关的设计与制作
- 介绍一种具有SU-8垂直微镜的静电驱动微型2×2光开关.该光开关用硅表面工艺与SU-8厚胶工艺结合制作,具有自组装、驱动电压低、可扩展为大规模光开关阵列等特点.该光开关利用残余应力使垂直微镜的氮化硅/多晶硅微梁翘离基底,...
- 刘素艳卜敏强叶雄英周兆英
- 关键词：MEMS光开关SU-8静电驱动
- 文献传递
- 微光学开关及其制作方法
- 本发明属于光纤通信中微光学信息处理技术领域,包括结合成一体的芯片、引线框架、金引线及塑料封装外壳;芯片由硅片,插入硅片中的入射、出射光纤及制作在硅片上反射入/出射光的由聚酰亚胺多晶硅复合微梁和微镜支持框架支撑的一个以上微...
- 叶雄英卜敏强周兆英
- 文献传递
- 微机电系统技术被引量：16
- 1999年
- 周兆英叶雄英唐飞朱俊华汤扬华卜敏强
- 关键词：微机电系统技术ICMEMS
- 微光学开关及其制作方法
- 本发明属于光纤通讯中微光学信息处理技术领域，包括结合成一体的芯片、引线框架、金引线及塑料封装外壳；芯片由硅片，插入硅片中的入射、出射光纤及制作在硅片上反射入/出射光的由聚酰亚胺多晶硅复合微梁和微镜支持框架支撑的一个以上微...
- 叶雄英卜敏强周兆英
- 文献传递
- 带有厚层结构的晶片上金属层的图形化方法
- 本发明属于微型电子机械系统(MEMS)技术领域,特别涉及一种在带有厚层结构的硅晶片上金属层的图形化方法。在本发明提出的金属层的图形化方法中,利用牺牲层腐蚀制作与硅衬底间隔着绝缘层的悬起隔离槽如多晶硅隔离槽,把溅射或蒸发在...
- 叶雄英刘素艳卜敏强周兆英
- 文献传递
- 一种弯曲悬臂梁执行器及其制作方法
- 一种弯曲悬臂梁执行器及其制作方法,属于微型电子机械系统(MEMS)技术领域。本发明包括单晶硅衬底,制作在硅衬底上的下电极、下电极压焊块、上电极、上电极压焊块、上、下电极之间的二氧化硅和氮化硅绝缘层,其技术特点是所述的上电...
- 叶雄英刘素艳卜敏强周兆英
- 文献传递
- 静电驱动垂直微镜微光学开关及其制作方法
- 本发明属于光纤通讯中微光学信息处理技术领域，涉及静电驱动垂直微镜微光学开关及其制作方法。包括芯片、金引线、金属封装外壳及带尾纤的光纤活动连接器，该芯片由硅衬底，入射、出射光纤，制作在硅衬底上由多晶硅-氮化硅复合微梁支撑的...
- 叶雄英卜敏强周兆英何日晖
- 文献传递
- 微型光开关及其工艺的研究
- 卜敏强
- 关键词：微光机电系统SU-8
- 静电驱动垂直微镜微光学开关及其制作方法
- 本发明属于光纤通讯中微光学信息处理技术领域,包括芯片、金外线、金属封装外壳及带尾纤的光纤活动连接器,该芯片由硅衬底,入射、出射光纤,制作在硅衬底上由多晶硅－氮化硅复合微梁支撑的微镜,位于该微梁上的上电极和位于绝缘介质膜之...
- 叶雄英卜敏强周兆英何日晖
- 文献传递
