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吴孙桃
作品数:
60
被引量:258
H指数:8
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厦门大学
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郭东辉
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术...
李静
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术...
林凡
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术...
周海文
厦门大学物理与机电工程学院物理...
陈议明
厦门大学物理与机电工程学院物理...
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作者
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吴孙桃
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郭东辉
17篇
李静
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1998
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1997
2篇
1996
1篇
1994
4篇
1993
1篇
1992
共
60
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湿法腐蚀后硅表面形态微结构的研究
2003年
随着半导体工艺集成度的不断提高及微纳米技术的发展,半导体硅材料的湿法腐蚀及腐蚀后硅表面的平整度及洁净度对半导体器件的影响越来越重要,有关此方面的研究也日益受到重视。本文利用扫描隧道显微镜(STM)技术,研究了Si(111)在几种不同比例的NH_4F-HCl溶液中腐蚀后的表面形态及洁净度。表面的STM图像分析,表明在较高pH值的NH_4F-HCl溶液中腐蚀的Si(111)表面粗糙度较小。
李静
吴孙桃
叶建辉
S.F.Y.Li
关键词:
湿法腐蚀
微结构
STM
扫描隧道显微镜
图像特征的CNN提取方法及其应用
被引量:7
2004年
图像特征的提取是视觉图像识别的重要方法之一,采用细胞神经网络(CNN)并行处理器进行图像特征的提取具有实时快速的优点。该文将介绍CNN并行处理器的基本工作原理及其实现图像特征处理的逻辑组合通用方法,并以图像的纹理分割与识别为例来说明CNN并行处理器应用于视觉图像识别的通用编程方法。
雷国伟
吕迎阳
纪安妮
吴孙桃
郭东辉
关键词:
CNN
并行处理器
图像识别
集成电路反剥离光刻方法
集成电路反剥离光刻方法,涉及一种集成电路光刻方法,尤其是涉及一种采用改进的反剥离工艺的集成电路光刻方法。提供一种改进的集成电路反剥离光刻方法。其步骤为在硅片表面先后涂增粘剂层和反转光刻胶层后烘胶,烘胶后在硅片表面再次涂反...
钟灿
林凡
李静
吴孙桃
罗仲梓
气体吸附对SnO_2/Si光电压的影响
被引量:2
1996年
测量了SnO2/Si表面吸附H2、液化石油气等还原性气体前后光电压的变化;分析、讨论了SnO2/Si表面的吸附性和机理。
沈 华
朱文章
吴孙桃
蔡玉霜
关键词:
半导体材料
异质结
氟化物溶液腐蚀后硅表面形态的STM与XPS研究
被引量:2
2003年
利用扫描隧道显微技术(STM)和X 射线光电子能谱(XPS)技术,研究了Si(111)在几种不同比例的NH4F HCl溶液中被腐蚀后的表面形态及洁净度.通过分析表面的STM图像与XPS谱图,表明在较高pH值的NH4F HCl溶液中被腐蚀的Si(111)表面粗糙度较小,且表面洁净度及化学稳定性较好.
李静
吴孙桃
叶建辉
LI S F Y
关键词:
半导体工艺
湿法腐蚀
表面形态
STM
聚酰亚胺电容式湿敏元件的研制
被引量:10
1997年
在硅基片上,采用集成电路工艺制作成有上下电极结构的以聚酰亚胺介质薄膜作为感湿膜的电容式湿度敏感元件,上电极有六种不同设计.对所研制的敏感元件进行感湿特性、温度特性、响应特性的测量,并分析讨论了测量结果.
周海文
吴孙桃
杨松鹤
吴荣华
陈议明
关键词:
聚酰亚胺
电容式
湿敏元件
硅基片
ZnO薄膜的制备和结构特性及应变
被引量:4
2006年
在SiO2/Si衬底上面,利用射频磁控溅射方法,在不同的工艺条件下生长ZnO薄膜,然后进行热处理(600-1000℃退火)。研究了氩氧比和退火温度对薄膜结晶性能的影响。薄膜的表面结构和晶体特性通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)来进行表征.结果表明:所制备的薄膜为多晶纤锌矿结构,具有垂直于衬底的c轴(002)方向的择优取向性。热处理可使ZnO(002)衍射峰相对强度增强,半峰全宽(FWHM)变小,即退火使c轴生长的薄膜取向性增强。未经退火的ZnO薄膜存在张应力,经过热处理后应力发生改变,最后变成压应力,并且随着退火温度的升高,压应力逐渐增大。
邓雷磊
吴孙桃
李静
关键词:
ZNO薄膜
射频磁控溅射
X射线衍射
扫描电子显微镜
CNN图像识别技术及其在X射线检测系统中的应用
X射线检测系统是各种安全检查的关键设备之一。在实际安检过程中,人们往往希望能够做到无人守候的实时报警,这就需要一种可以实现快速自动图像识别的技术。将介绍一种基于细胞神经网络(CNN)的快速图像自动识别技术,并具体说明在X...
雷国伟
吴孙桃
纪安妮
郭东辉
关键词:
X射线检测系统
细胞神经网络
图像识别
β-SiC的静态性质和能带结构
被引量:2
1993年
在从头计算的LMTO-ASA方法中引用Lowdin微扰法,计算了β-SiC晶体的总能Etot,平衡晶格常数αo,体模量的压力微商Bo和能带结构,计算结果与从计算的赝势法等的计算结果基本相符,与实验值的偏差合理,但计算量小,进一步讲证明利用微扰计入空d态影响的LMTO-ASA方法是行之有效的方法。
吴孙桃
王仁智
陈传鸿
关键词:
半导体晶体
温敏二极管性能的优化研究
被引量:1
1998年
从优化设计的需要出发,推导了温敏二极管灵敏度、线性度和串联电阻等电参数的理论公式.采用优化分析法,讨论了影响温敏二极管性能诸多因素的矛盾关系,提出温敏二极管的设计原则及解决相关矛盾的方法.理论分析得到实验结果的有力支持.
张声豪
谢延贵
吴孙桃
关键词:
敏感元件
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