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周一敏

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：复旦大学物理学系更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇汽相沉积
  • 2篇激光
  • 2篇激光化学
  • 2篇光化学
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化钛
  • 1篇实时监测
  • 1篇化学汽相沉积
  • 1篇反射率
  • 1篇硅
  • 1篇钨

机构

  • 2篇复旦大学

作者

  • 2篇周一敏
  • 2篇孙迭篪
  • 2篇杜元成
  • 2篇李富铭

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇应用激光

年份

  • 1篇1990
  • 1篇1989
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
反射率探测法对激光化学汽相沉积的实时监测被引量：1
1989年
本文描述了一个对激光诱导化学汽相沉积进行实时监测的反射率测量方法,并给出了钨在硅和氮化钛基片上沉积过程的实验结果。
周一敏孙迭篪李富铭杜元成王海
关键词：激光化学汽相沉积
全文增补中
钨在硅和氮化钛上的激光化学汽相沉积实验研究被引量：1
1990年
本文介绍了用激光化学汽相沉积的方法在Si和TiN基板上沉积钨的实验研究。沉积过程由反射率探测法实时监测,实验结果表明:钨的沉积速率依赖于WF_6和H_2的比例、压力、激光功率和基板的物理性质。实验得到了3μm宽的钨膜。
周一敏孙迭篪李富铭杜元成王海
关键词：钨硅氮化钛
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共1页<1>
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