李季
- 作品数:4 被引量:8H指数:2
- 供职机构:浙江大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信环境科学与工程建筑科学更多>>
- 城市空间中交往发生的空间规律研究
- 公共空间中的交往活动既是人类的本能需求,又是城市的生命力所在。空间条件不能决定交往活动的发生,却在很大程度上起促进作用。一些经典的空间现象引发了人们自然的停留交往,这些现象背后共同的规律是什么?它和人的生理心理特征有着什...
- 李季
- 关键词:交往活动逻辑推理
- 基于可制造性设计的物理设计规则的研究
- 本文从集成电路物理设计规则方面针对可制造性和成品率问题展开了分析研究。首先介绍了集成电路的设计和制造流程。其次分析了目前严重影响纳米级集成电路成品率问题的三种误差因素和与物理设计规则相关的可制造性问题。最后,本文提出了一...
- 李季
- 关键词:可制造性光刻模拟集成电路物理设计
- 文献传递
- 亚波长光刻离轴照明和次分辨率辅助图形技术被引量:4
- 2006年
- 讨论了亚波长光刻条件下的离轴照明和次分辨率辅助图形两种分辨率的增强技术,分析了两种技术的原理,利用光刻模拟软件,针对不同线宽的稀疏线条,对添加次分辨率辅助图形前后的光刻仿真结果进行了对比.研究结果表明,离轴照明技术和次分辨率辅助图形的结合使用,可以显著提高亚100纳米级版图线条的光刻分辨率,增大工艺窗口,降低版图成像对生产工艺参数的要求,对于解决亚波长光刻所带来的亚100纳米级集成电路成像质量下降的问题非常必要.
- 李季史峥沈珊瑚陈晔
- 关键词:离轴照明分辨率增强技术光刻模拟
- 废弃茶叶渣吸附废水中重金属离子研究
- 近年来,水中重金属污染问题严重影响到了人类的健康和生态环境的稳定,相关报道也层出不穷。为了进一步减小重金属的危害性,虽然各国针对水体中重金属出台了各种控制性标准,但是在重金属污染防治技术和水平上仍然有很大的限制。因此,如...
- 李季
- 关键词:废水处理重金属离子