王亚攀
- 作品数：11 被引量：8H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
- 多种聚合物复合材料电热微驱动器
- 一种多种聚合物复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：基座支撑结构、引线电极、功能膨胀层、应力控制层；应力控制层位于功能膨胀层下方，形成双层结构；功能膨胀层是SU－8胶包裹发热电阻丝构成的复合结构；引线...
- 张丛春张小波吴义伯王亚攀
- 文献传递
- SMA微驱动器及双稳态MEMS继电器的研究
- 本文研究了一种微驱动器及继电器,其设计原理采用基于机械操纵触点导通的机电方式,制作采用MEMS微细加工工艺,单个器件的整体尺寸仅为10mm×5mm×1mm(硅基底上制作)。它主要由对称分布的两个微驱动器和对称结构的永磁双...
- 王亚攀
- 关键词：继电器ANSYS仿真微细加工工艺
- 文献传递
- 基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器
- 本发明涉及一种微机电系统技术领域的基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器，包括：永磁体、衬底、电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元，其中：永磁体位于衬底下方，并与衬底紧密相连；电热电磁驱动单元、双向运...
- 丁桂甫吴义伯张丛春王娟张小波王亚攀
- 文献传递
- Si／TiNi双层结构SMA电热驱动器的仿真和制造被引量：1
- 2010年
- 使用射频磁控溅射法,在Si片上沉积了TiNi形状记忆合金薄膜,分别采用能谱色散光谱仪(EDS)和差示扫描热量分析(DSC)方法测试了薄膜的成分和相变特征温度,并通过给形状记忆合金(SMA)薄膜加热及冷却,观察薄膜的形变恢复情况,定性测试了SMA的形状记忆特性。在此基础上,设计并制造了一种SMA薄膜/Si膜复合膜悬臂梁结构的微驱动器。在室温下,SMA电热驱动器的悬臂梁是平直的;由于TiNi合金具有相变和形状记忆特性,当TiNi电极加上电压后,悬臂梁会产生弯曲。测试结果表明,在2.0V电压下,驱动器悬臂梁端部的驱动位移可达到70.5μm,功耗为20mW。
- 王亚攀吴义伯张小波张丛春杨春生
- 关键词：ANSYS仿真
- 镍酸镧导电金属氧化物纳米薄膜的制备方法
- 一种镍酸镧导电金属氧化物纳米薄膜的制备方法，该方法包括：一、靶材的制备，即首先把分析纯的Ni<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>、La<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>氧化物粉末以1∶1的比...
- 张丛春王亚攀石金川杨春生
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- 多种聚合物复合材料电热微驱动器
- 一种多种聚合物复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：基座支撑结构、引线电极、功能膨胀层、应力控制层；应力控制层位于功能膨胀层下方，形成双层结构；功能膨胀层是SU-8胶包裹发热电阻丝构成的复合结构；引线...
- 张丛春张小波吴义伯王亚攀
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- 基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器
- 本发明涉及一种微机电系统技术领域的基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器，包括：永磁体、衬底、电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元，其中：永磁体位于衬底下方，并与衬底紧密相连；电热电磁驱动单元、双向运...
- 丁桂甫吴义伯张丛春王娟张小波王亚攀
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- 一种金属基聚合物电热微驱动器的设计与仿真被引量：3
- 2010年
- 提出了一种用于双稳态MEMS继电器的面外运动金属基聚合物电热微驱动器,下层结构使用了环氧树脂型SU-8胶作为驱动层,中间层为蛇形镍电阻丝发热层,上层结构为金属偏置层,构成的多层膜结构在常温下保持悬空部分平直,通电时产生的焦耳热使微驱动器件发生面外运动。先对设计的微驱动器进行了概念分析,再利用ANSYSTM有限元分析软件的多物理场(电-热-机械耦合)对热驱动器的性能进行了仿真与优化。当SU-8驱动层厚度、热电阻丝厚度、偏置层厚度比分别为12:4:4μm时,所设计器件的驱动性能最佳,即在0.4V驱动电压下,响应时间10ms时微驱动器产生驱动位移28μm,输出力为1mN,功耗为10mW。
- 吴义伯丁桂甫张小波王亚攀张丛春
- 关键词：电热驱动SU-8
- 基于U+V型的柔性复合梁电热微驱动器
- 一种基于U+V型的柔性复合梁电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：U型梁基座、U型梁电极、V型梁基座、V型梁电极、U型双热臂复合梁电热驱动器、V型复合梁电热驱动器。所述U型双热臂复合梁电热驱动器包括U型双热臂...
- 张丛春吴义伯王娟张小波王亚攀丁桂甫
- 文献传递
- 一种非硅微加工技术制作的电热微驱动器被引量：7
- 2009年
- 介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU—8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出驱动力的大小,比较结果后确定结构参数。再通过光刻、掩模电镀和牺牲层刻蚀等工艺,加工制作出了电热微驱动器样品,并对样品进行了观测和分析。
- 张小波吴义伯王亚攀张丛春丁桂甫
- 关键词：ANSYS仿真
