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肖利辉

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

主题

  • 4篇亚表面
  • 3篇显微镜
  • 3篇共聚焦
  • 3篇共聚焦显微镜
  • 2篇电阻
  • 2篇元件
  • 2篇抛光
  • 2篇球面
  • 2篇微阵列
  • 2篇截面
  • 2篇环形截面
  • 2篇光学
  • 2篇光学元件
  • 2篇薄膜电阻
  • 2篇测量处理
  • 2篇沉积层
  • 2篇脆性
  • 1篇电学
  • 1篇亚表面损伤层
  • 1篇氧化物

机构

  • 6篇西安交通大学

作者

  • 6篇肖利辉
  • 6篇王海容
  • 4篇蒋庄德
  • 2篇陈磊
  • 2篇孙全涛
  • 2篇苑国英
  • 2篇张碧珂
  • 2篇孙侨
  • 2篇付广龙
  • 2篇王嘉欣

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺
本发明公开了一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺，其特征在于，气体传感器由Si基底、绝缘层、两个薄膜电阻加热元件、矩形微阵列、一对敏感电极及生长在矩形微阵列上的金属氧化物三维多级纳米结构组成。Si基底下部被各...
王海容陈磊王嘉欣孙侨肖利辉孙全涛蒋庄德
文献传递
一种检测球面光学元件亚表面损伤程度表征参数的方法
本发明公开了一种检测球面光学元件亚表面损伤程度表征参数的方法，其特征在于，采用磁流变抛光工艺在球形光学元件上加工出一环形截面，腐蚀处理加工后的环形截面，使用激光共聚焦显微镜观察暴露、放大的微裂纹形貌，对微裂纹二维图像进行...
王海容陈洪凤肖利辉付广龙蒋庄德
文献传递
一种硬脆性高精元件亚表面损伤程度的表征方法
本发明公开了一种硬脆性高精元件亚表面损伤程度的表征方法，其特征在于，用两块样品作腐蚀试验，由第一块样品获得抛光沉积层的纵向去除速率，然后对第二块样品腐蚀中即可精确获得腐蚀时间及厚度，使第二块样品亚表面微裂纹完全暴露出来，...
王海容张碧珂肖利辉苑国英
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一种硬脆性高精元件亚表面损伤程度的表征方法
本发明公开了一种硬脆性高精元件亚表面损伤程度的表征方法，其特征在于，用两块样品作腐蚀试验，由第一块样品获得抛光沉积层的纵向去除速率，然后对第二块样品腐蚀中即可精确获得腐蚀时间及厚度，使第二块样品亚表面微裂纹完全暴露出来，...
王海容张碧珂肖利辉苑国英
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一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺
本发明公开了一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺，其特征在于，气体传感器由Si基底、绝缘层、两个薄膜电阻加热元件、矩形微阵列、一对敏感电极及生长在矩形微阵列上的金属氧化物三维多级纳米结构组成。Si基底下部被各...
王海容陈磊王嘉欣孙侨肖利辉孙全涛蒋庄德
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一种检测球面光学元件亚表面损伤程度表征参数的方法
本发明公开了一种检测球面光学元件亚表面损伤程度表征参数的方法，其特征在于，采用磁流变抛光工艺在球形光学元件上加工出一环形截面，腐蚀处理加工后的环形截面，使用激光共聚焦显微镜观察暴露、放大的微裂纹形貌，对微裂纹二维图像进行...
王海容陈洪凤肖利辉付广龙蒋庄德
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