蒋娜娜
- 作品数:5 被引量:20H指数:3
- 供职机构:清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:理学金属学及工艺电子电信轻工技术与工程更多>>
- 加工方法和材料种类对空蚀结果的影响被引量:6
- 2007年
- 利用旋转圆盘空蚀试验装置,以流动的自来水为介质,对铣削和抛光加工的1Cr18Ni9Ti、40Cr、45#钢3种钢材料,进行了累计5min、20min和1h的空蚀试验,利用扫描电子显微镜对试验后试样的表面形貌进行原位观察。结果表明同种材料,铣削和抛光的试样蚀坑形态不同;同种加工方法,1Cr18Ni9Ti最难发生空蚀,40Cr的空蚀现象明显,45#钢发生了严重的空蚀破坏。结果显示不同加工方法影响了试样表面微形貌和显微组织,从而得到形态不同的空蚀坑;材料种类对空蚀破坏程度有显著影响,硬度和润湿性可能是重要影响因素。
- 蒋娜娜徐臻周刚陈大融
- 关键词:空蚀润湿性
- 旋转圆盘空蚀试验中的硅材料破坏过程研究被引量:6
- 2007年
- 利用自制旋转圆盘空蚀试验装置,以流动自来水为介质,对磨片、化抛片、抛光片和刻蚀片等4种硅片进行连续8 h试验以及对磨片进行连续14 h跟踪观察试验,研究硅材料的微观破坏过程,并利用扫描电子显微镜、触针式表面形貌仪和原子力显微镜对其表面微观形貌进行分析.结果表明:经连续8 h空蚀试验后,磨片原始表面的片状层基本消失,表面破坏程度最严重,化抛片次之,其表面尖锐的边缘发生了钝化,抛光片和刻蚀片的表面变化不大;化抛片的表面粗糙度Ra值由227.79 nm降至173.31 nm,抛光片的Ra值由0.483 nm增加至3.455 nm,磨片在14 h试验后其Ra值由0.3304μm降至0.1965μm;一定尺度的表面微观形貌对硅材料产生显著影响.
- 蒋娜娜徐臻陈大融李浩群
- 关键词:空蚀硅片表面形貌
- 利用脉冲激光真空弧沉积技术制备类金刚石薄膜被引量:7
- 2005年
- 介绍了一种新的脉冲激光真空弧沉积技术,利用该技术在硅基片上制备了类金刚石薄膜.利用激光拉曼分析技术对沉积膜进行了结构分析,结果表明沉积膜为非晶结构,具有明显的sp3结构特征.同时利用纳米划痕压痕仪、原子力显微镜等分析设备对膜的表面形貌、微观摩擦学性能进行了分析,结果表明Si<100>基片上沉积膜的表面形貌和微观摩擦学性能略优于Si<111>基片上沉积的薄膜,其摩擦系数平均值为0.036.
- 蒋娜娜邵天敏陈大融
- 关键词:类金刚石薄膜激光拉曼
- 腐蚀和空蚀过程的材料破坏形式研究
- 利用扫描电子显微镜(SEM)对抛光45钢样品在10min 静水腐蚀和旋转圆盘空蚀实验过程中的材料破坏形式进行研究。实验介质为添加了500nm 氧化铈微粒的去离子水。结果显示实验后腐蚀和空蚀样品表面都出现材料破坏区,破坏区...
- 蒋娜娜徐臻陈大融
- 关键词:空蚀
- 文献传递
- 硅片空蚀实验中表面粗糙度和润湿性的影响被引量:2
- 2008年
- 通过几何形貌变化和沉积Au和DLC超薄膜改变硅片的表面粗糙度和润湿性,利用自制的振动空蚀实验装置对硅片在去离子水中的材料微观破坏情况进行研究.扫描电子显微镜(SEM)和表面形貌仪用来对实验前后的硅片表面形貌进行检测;采用接触角测量系统对试样表面润湿性进行表征.结果表明,振动空蚀实验后硅片表面会产生由于脆性断裂引起的微小蚀坑和裂纹,随实验时间增加,蚀坑和裂纹的数量增加且尺寸增大,造成材料剥落;几何形貌引起的粗糙度增加和表面沉积Au和DLC超薄膜引起的表面接触角增大,都使得硅片的空化更易于发生,从而加重了空蚀破坏程度.
- 蒋娜娜刘诗汉陈大融
- 关键词:空蚀硅片粗糙度接触角