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蔡云虹
作品数:
5
被引量:6
H指数:2
供职机构:
河北省科学院
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罗廷礼
河北省科学院
王志娜
河北省机电一体化中试基地
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河北省机电一体化中试基地
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1篇
人工晶体学报
年份
1篇
2004
3篇
2000
1篇
1999
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5
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直流电弧等离子喷射法沉积大面积金刚石厚膜的研究
2000年
在自行研制的直流电弧等离子喷射化学气相金刚石膜设备上,初步研究了衬底温度、甲烷浓度、输入功率和循环气量等工艺参数对沉积金刚石膜的影响。总结出了制备各种级别金刚石膜的一般规律。并以11μm/h的沉积速率制备了直径60mm、厚度均匀的高质量自支撑金刚石膜,热导率可达18W/cm·K,厚度为0.7mm,其热导率已接近天然金刚石。
王少岩
郭辉
孙振路
吴晓波
王志娜
刁习刚
刘秀军
蔡云虹
胡红彦
姜龙
李国华
关键词:
CVD
用金刚石膜的X射线衍射谱估算其热导率
被引量:2
1999年
讨论直流电弧等离子体喷射化学气相沉积的金刚石膜其热导率和晶面取向间的关系。
罗廷礼
何奇宇
王志娜
崔文秀
蔡云虹
刁习刚
刘秀军
关键词:
金刚石膜
热导率
X射线衍射谱
用浮力法测量金刚石膜的密度
被引量:3
2000年
本文报道了一种测量金刚石膜密度的浮力法。这种方法的特点是快速、方便、准确和实用。
罗廷礼
蔡云虹
张平伟
张瑞芹
刁习刚
刘秀军
关键词:
金刚石膜
一种估算热导率的方法
被引量:3
2000年
径向热导率是金刚石膜应用中的一项主要技术指标。本文介绍一种通过热导率和X衍射晶面图间相关性估算直流电弧等离子体喷气相沉积金刚石膜径向热导率的方法。该方法需满足的条件为(111)为主的三向系中(220)和(311)的CPS值分别是23~33%和8~15%,或者是在四取向膜中要求(400)的CPS值低于5%。瓮算值的最大偏差为-9.5%和3.5%。当(220)的CPS值高时或(311)的CPS值低时,
罗廷礼
蔡云虹
关键词:
金刚石膜
热导率
激光切割对金刚石膜性能的影响
2004年
研究了激光切割对CVD金刚石膜三点弯曲断裂强度和热导率的影响。选择合适的激光 切割电压和切割速度可以避免这种激光损伤并给出了判断该切割电压和切割速度是否合适的 方法。
崔文秀
吴晓波
蔡云虹
罗廷礼
关键词:
CVD
金刚石膜
激光损伤
热导率
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