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付新

作品数：122 被引量：42H指数：4
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 113篇专利
  • 9篇期刊文章

领域

  • 15篇自动化与计算...
  • 5篇机械工程
  • 5篇电子电信
  • 5篇电气工程
  • 3篇一般工业技术
  • 3篇文化科学
  • 2篇化学工程
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇建筑科学
  • 2篇医药卫生
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇核科学技术
  • 1篇理学

主题

  • 20篇光刻
  • 16篇传感
  • 15篇流量计
  • 15篇光刻机
  • 14篇浸没
  • 14篇磁悬浮
  • 10篇感器
  • 10篇传感器
  • 9篇密封
  • 8篇转子
  • 8篇浸液
  • 8篇阀芯
  • 7篇电机
  • 7篇电路
  • 7篇液滴
  • 7篇液力
  • 7篇控制装置
  • 7篇磁体
  • 6篇信号
  • 6篇永磁

机构

  • 122篇浙江大学
  • 11篇天信仪表集团...
  • 10篇浙江启尔机电...
  • 1篇杭州电子科技...
  • 1篇浙江大学城市...
  • 1篇浙江省人民医...
  • 1篇浙江机电职业...

作者

  • 122篇付新
  • 68篇胡亮
  • 53篇阮晓东
  • 19篇刘伟庭
  • 12篇陈文昱
  • 6篇吴敏
  • 6篇邹俊
  • 5篇陈晖
  • 4篇陆亮
  • 4篇杨华勇
  • 4篇张一帆
  • 4篇申慧敏
  • 4篇杜学文
  • 3篇许忠斌
  • 3篇范灏
  • 3篇郭伟龙
  • 2篇龚国芳
  • 2篇薛飞
  • 2篇陈霄
  • 2篇李博

传媒

  • 2篇仪表技术与传...
  • 1篇机电工程
  • 1篇矿山机械
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇中国生物医学...
  • 1篇浙江大学学报...
  • 1篇微纳电子与智...

年份

  • 9篇2024
  • 9篇2023
  • 22篇2022
  • 36篇2021
  • 1篇2020
  • 3篇2019
  • 3篇2018
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 3篇2013
  • 4篇2012
  • 4篇2011
  • 9篇2010
  • 11篇2009
  • 3篇2008
  • 1篇2000
共 122 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用于光刻机的浸没自适应密封控制装置
本发明公开了一种用于光刻机的浸没自适应密封控制装置。浸没自适应密封控制装置是在投影透镜组和衬底之间设置的装置，由密封构件和自适应密封件组成。当液体由于衬底牵拉形成对自适应密封件冲击时，该结构能够吸收高速运动液体形成的冲击...
付新陈晖陈文昱杨华勇
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一种超声风速仪及其测量方法
本发明涉及一种超声风速仪及其测量方法。本发明采用了多个换能器组合的超声波发射站和接收站，降低了超声波被吹偏后丢失信号的概率，能够扩展大口径或高流速下超声风速仪的测量范围。设置包括多个超声换能器的上游超声站和下游超声站，使...
付新程鑫吴敏胡亮
文献传递
用于采用附加永磁贴片转子的磁悬浮泵的转子位姿检测方法
本发明公开了一种用于采用附加永磁贴片转子的磁悬浮泵的转子位姿检测方法。本发明方法包括：S1)在转子的转动过程中，位置传感器与角度传感器采集磁场信号；S2)根据位置传感器采集到的磁场信号得到转子径向位置；根据角度传感器采集...
胡亮李鸿兵阮晓东苏芮申英男付新
一种EUV光源锡靶液滴发生装置
本发明涉及一种EUV光源锡靶液滴发生装置。本发明熔池容纳于腔体内，熔池内容纳锡料；向熔池内供给压力气体使腔内压力保持对外部环境的正压；所述的腔体底部设置喷孔，喷孔的直径在1微米至1000微米范围内；所述的微波源设置于腔体...
胡亮宋光敏方言燊付新
文献传递
一种具有全氟表面的复合式闭式叶轮
本发明公开了一种具有全氟表面的复合式闭式叶轮。其整体由叶轮上盖和叶轮底座两部分组合而成，二者通过超声波熔融埋植的方式进行结合；叶轮上盖选用金属材料作为内部基体，外表面裹覆有氟树脂涂层，叶轮底座整体采用氟树脂材料；在埋植过...
阮晓东杨津宇胡亮苏芮刘伟庭付新
文献传递
基于PCM隔绝内部温度波动的温控装置和控制方法
本发明公开了一种基于PCM隔绝内部温度波动的温控装置和控制方法。温控装置底部与被控物体接触，由PCM相变介质进行吸热控温，在被PCM相变介质四面包裹的微流道中通入冷却介质，通过协同控制算法使PCM维持在相变温度，利用相变...
付新彭杰峰胡亮刘伟庭苏芮
用于浸没式光刻机的磁流体注入和回收控制装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻机的磁流体注入和回收装置。由电磁铁、磁极、密封固定环和磁流体组成的装置安放在投影透镜组和基底之间。经表面超憎水处理过的内侧磁极内表面形成用于约束浸没液体流场的内层密封带；当线圈两个电磁铁组通...
付新邵杰杰陈文昱
一种粒径可调的液滴发生系统
本发明公开了一种粒径可调的液滴发生系统。本发明包括液滴发生装置、供液排气组件和控制组件；控制组件分别与液滴发生装置和供液排气组件电连接，液滴发生装置通过导管与供液组件相连；控制组件分别控制液滴发生装置和供液排气组件使得液...
胡亮马琼佘垒方言燊苏芮付新
文献传递
电磁流量计的秤重式标定方法
本发明提供了一种电磁流量计的秤重式标定方法。以电子秤测量整个管段内导电介质重量，利用激励模块在电磁流量计电极上加上一个与电磁流量计励磁电流同步的方波电流信号，则在管段内会形成一个与电磁流量计工作磁场同步的交变电流场，整段...
付新胡亮邹俊叶朋
文献传递
基于多源激振的高通量微液滴发生装置
本发明提供了基于多源激振的高通量微液滴发生装置，利用多个声振源产生会聚叠加的声波信号作用于微米级的小孔附近，使经小孔喷射出的液体射流受到扰动，由于瑞利失稳现象而断裂形成小液滴，并且能够消除液滴队列中的卫星液滴。设置声透镜...
胡亮佘垒付新
文献传递
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