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代全

作品数：7 被引量：10H指数：3
供职机构：沈阳工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金辽宁省科学技术基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信
  • 1篇文化科学

主题

  • 6篇压阻
  • 6篇压阻式
  • 5篇固有频率
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇应变电阻
  • 3篇速度传感器
  • 3篇劲度系数
  • 3篇加速度
  • 3篇加速度传感器
  • 3篇过载能力
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米膜
  • 2篇MEMS
  • 1篇压力传感器
  • 1篇牺牲层
  • 1篇牺牲层技术
  • 1篇谐振频率
  • 1篇力传感器

机构

  • 7篇沈阳工业大学
  • 1篇沈阳化工大学
  • 1篇沈阳仪表科学...

作者

  • 7篇代全
  • 6篇揣荣岩
  • 3篇王健
  • 3篇张晓民
  • 2篇王健
  • 1篇靳晓诗
  • 1篇白羽
  • 1篇梁峭
  • 1篇吴美乐
  • 1篇杨理践

传媒

  • 2篇仪表技术与传...
  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2017
  • 4篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
高固有频率加速度敏感结构设计
微机电系统（MEMS）是一种将半导体工艺和机械工程结合起来的技术，自出现以来凭借其巨大的优势得到了迅速的发展，具有广阔的应用前景。硅材料具有优越的电学及力学特性，是MEMS领域不可缺少的材料之一。其中，MEMS压阻式加速...
代全
关键词：MEMS加速度传感器压阻式
文献传递
压阻式高固有频率MEMS加速度敏感芯片
本实用新型公开了一种压阻式高固有频率MEMS加速度敏感芯片，该芯片主要包括硅基框架，主梁，微梁，质量块，其中质量块通过主梁和微梁与硅基框架相连；质量块一端设置有微梁，微梁上设有应变电阻，质量块另一端设置有对称的两个主梁，...
揣荣岩代全王健张晓民衣畅
文献传递
压阻式高固有频率MEMS加速度敏感芯片及其制造方法
本发明公开了一种压阻式高固有频率MEMS加速度敏感芯片，该芯片主要包括硅基框架，主梁，微梁，质量块，其中质量块通过主梁和微梁与硅基框架相连；质量块一端设置有微梁，微梁上设有应变电阻，质量块另一端设置有对称的两个主梁，主梁...
揣荣岩代全王健张晓民衣畅
文献传递
基于牺牲层技术的高过载压力传感器芯片被引量：3
2014年
提出了一种基于牺牲层技术的高过载压力传感器芯片。这种传感器充分利用了多晶硅机械特性和多晶硅纳米膜的压阻特性优势,提高了传感器满量程输出和过载能力。利用有限元方法设计了仿真模型,通过对弹性膜片应力分布的静态分析和非线性接触分析,给出了提高这种压力传感器满量程输出和过载能力的设计方法。并试制了量程为2.5 MPa的传感器芯片样品。测试结果表明样品的过载压力超过7倍量程,5 V供电条件下,满量程输出达到362 m V。
揣荣岩王健代全代全
关键词：压力传感器过载保护牺牲层技术
压阻式高固有频率MEMS加速度敏感芯片及其制造方法
本发明公开了一种压阻式高固有频率MEMS加速度敏感芯片，该芯片主要包括硅基框架，主梁，微梁，质量块，其中质量块通过主梁和微梁与硅基框架相连；质量块一端设置有微梁，微梁上设有应变电阻，质量块另一端设置有对称的两个主梁，主梁...
揣荣岩代全王健张晓民衣畅
压阻式高固有频率Z轴加速度敏感结构被引量：3
2015年
基于微机电系统(MEMS)技术的加速度传感器因其性价比高、易于集成化而得到广泛应用,但在普通MEMS加速度敏感结构中仍然存在灵敏度和固有频率相互制约的弱点。为此,文中优化设计了一种压阻式新型加速度敏感结构,该结构在弹性梁加质量块的基本结构上引入了敏感微梁,在保证高灵敏度的同时,显著提高了固有频率。其灵敏度与固有频率的乘积可比普通MEMS加速度计提高25倍以上。
揣荣岩代全王健梁峭衣畅
关键词：加速度传感器压阻式MEMS
多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构被引量：4
2013年
随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展,硅基加速度传感器已经得到广泛应用。但在敏感结构设计中,普遍存在灵敏度与固有谐振频率相互制约的矛盾。为此,采用多晶硅纳米膜作应变电阻,设计了300 nm超薄微梁加速度敏感结构。这种结构的设计改善了灵敏度与谐振频率之间的矛盾,使两者乘积值提高了30余倍,从而使压阻加速度计的性能得到大幅提升。
揣荣岩白羽吴美乐代全靳晓诗
关键词：加速度传感器压阻式谐振频率
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