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何永增

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文科技成果

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇单晶
  • 2篇直拉硅
  • 2篇直拉硅单晶
  • 2篇硅单晶
  • 2篇掺磷

机构

  • 2篇浙江大学

作者

  • 2篇杨德仁
  • 2篇田达晰
  • 2篇何永增
  • 2篇马向阳
  • 1篇陈加和
  • 1篇宫龙飞
  • 1篇阙端麟
  • 1篇曾俞衡

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
重掺磷直拉硅单晶的制备技术及应用
杨德仁田达晰马向阳宫龙飞陈加和何永增曾俞衡阙端麟
重掺磷直拉硅单晶的制备一直是国际硅材料界的一个难题，国际上仅有2-3家领先的硅材料企业可以制备。从2002年开始，项目系统研究了重掺磷导致的过冷度对硅晶体生长的影响、磷的挥发与分凝对掺杂效率的影响、热场与工艺参数对硅晶体...
关键词：
关键词：硅单晶
直拉硅单晶的重掺磷生长技术及其产业化应用
杨德仁田达晰马向阳何永增
该项目属材料科学领域，涉及人工晶体和半导体材料学科。直拉硅单晶是信息产业的基石，其中n型重掺（高浓度掺杂）直拉硅单晶是通讯、计算机、汽车、航空航天等领域广泛应用的功率微电子器件的关键基础材料。降低功耗是功率微电子器件的关...
关键词：
关键词：硅单晶
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共1页<1>
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