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冯星伟

作品数：6 被引量：14H指数：2
供职机构：复旦大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 4篇圆偏振
  • 4篇偏振
  • 4篇椭圆偏振
  • 3篇圆偏振光
  • 3篇偏振光
  • 3篇偏振光谱
  • 3篇椭圆偏振光
  • 3篇椭圆偏振光谱
  • 3篇光谱
  • 2篇定标
  • 2篇设计方法
  • 2篇数据精度
  • 2篇起偏器
  • 2篇波长
  • 2篇波长扫描
  • 2篇测量过程
  • 1篇氧化层
  • 1篇氧化膜
  • 1篇入射
  • 1篇入射角

机构

  • 6篇复旦大学

作者

  • 6篇陈良尧
  • 6篇冯星伟
  • 6篇钱佑华
  • 6篇苏毅
  • 3篇马宏舟
  • 1篇郑庆平

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇光学学报
  • 1篇红外与毫米波...

年份

  • 1篇1997
  • 1篇1996
  • 1篇1995
  • 1篇1994
  • 2篇1993
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
金膜光学常数的椭圆偏振光谱测量精度研究被引量：3
1993年
为了利用可变入射角椭圆偏振光谱仪最佳地测出固体材料的光学常数,我们特别对金膜从理论和实验两方面研究了不同入射波长下入射角的选取对光学常数测量精度的影响,发现对不同的入射波长,在相应的主角下测出的光学常数具有最高的精度,主入射角下测量最佳条件对其它固体材料光学常数的测量同样适用。
冯星伟苏毅马宏舟陈良尧钱佑华
关键词：光学常数椭圆偏振金膜
可变入射角波长扫描RPA型椭偏仪的研制被引量：9
1995年
设计制作了一台用同步旋转起偏器和检偏器（转速之比为１：２）测量方式的波长扫描型椭偏仪。由于附加了一个固定偏振器以消除光源的部分偏振性，实验信号包括一个直流成分和四个交流成分，其频率分别为ω０，２ω０，３ω０和４ω０，利用四个交流成分中的任意三个便可以得到材料的复介电函数，实验结果的自洽度优于０．５％。并详细介绍了系统的设计、定标和校正过程，利用该椭偏仪对Ａｕ和ＣｄＴｅ样品复介电函数的测量结果与其它报道一致。
冯星伟苏毅马宏舟陈良尧钱佑华
关键词：波长扫描
快速氧化生长超薄硅氧化层的变入射角椭圆偏振研究被引量：2
1994年
采用多角度椭圆偏振光谱测量，并结合一定的数值计算方法，首次同时精确测出了多种工艺条件下由快速热氧化法生长的超薄氧化层厚度与折射率，对该方法生长的氧化层厚度与氧化时间平方根的关系进行了研究并计算了氧化生长速率的温度激活能，同时也对薄氧化层折射率与氧化层厚度的关系进行了探讨．
冯星伟苏毅戴自怡陈良尧钱佑华方景松郑庆平
关键词：硅椭圆偏振氧化膜
一种椭圆偏振光谱仪的设计方法
传统模式下的椭圆偏振光谱仪的设计方法均采用单只起偏器，且仅由检偏器作连续转动。本发明采用二个起偏器，其中一个起偏器固定，而检偏器和第二个起偏器采用2∶1系数同步转动，使得由探测器得到的信号为：;I＝I<Sub>0</Su...
陈良尧钱佑华冯星伟苏毅
文献传递
一种椭圆偏振光谱仪的设计方法
传统模式下的椭圆偏振光谱仪的设计方法均采用单只起偏器，且仅由检偏器作连续转动。本发明采用二个起偏器，其中一个起偏器固定，而检偏器和第二个起偏器采用2∶1系数同步转动，使得由探测器得到的信号为;I＝I<Sub>0</Sub...
陈良尧钱佑华冯星伟苏毅
文献传递
波长扫描和入射角可变全自动椭圆偏振光谱仪
陈良尧钱佑华冯星伟苏毅马宏舟
蓬勃发展的现代高科技光电子领域需要对各种材料的光学性质有深刻的了解。伴随微计算机技术的引入而发展起来的自动椭圆偏振光谱仪，作为现代高精度的实验物理光谱学仪器，可用于无损检测和分析各种固体材料的光学特性，因此，无论在科技还...
关键词：
关键词：波长扫描
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