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刘克

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇光刻
  • 2篇波像差
  • 1篇在线检测
  • 1篇投影物镜
  • 1篇紫外光刻
  • 1篇物镜
  • 1篇极紫外
  • 1篇极紫外光刻
  • 1篇光刻工艺
  • 1篇光刻机
  • 1篇光学
  • 1篇光学测量
  • 1篇干涉图
  • 1篇波面拟合

机构

  • 3篇中国科学院
  • 1篇北京理工大学
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 3篇刘克
  • 2篇刘景峰
  • 1篇李艳秋

年份

  • 2篇2008
  • 1篇2007
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
光刻机投影物镜波像差在线检测关键技术研究
光刻机投影物镜波像差在线检测技术是实现65nm以下技术节点光刻工艺的关键技术。本文在充分论述光刻机投影物镜波像差在线检测技术的重要性、国内外研究现状、技术要求和关键技术的基础上，针对目前为止检测精度最高的相移点衍射干涉仪...
刘克
关键词：光刻机在线检测光刻工艺
移相式点衍射干涉仪的几个关键技术
极紫外光刻技术作为下一代光刻技术的最佳候选技术,为了得到衍射极限的分辨率,光学系统的 RMS 波像差应小于其工作波长的1/14,约为1 nm,这对检测技术提出了前所未有的要求。本文以应用于极紫外光刻光学系统波像差检测中的...
刘景峰李艳秋刘克
关键词：极紫外光刻波像差
文献传递
带有分割遮拦环形干涉图的波面拟合
针对干涉测量实验中采集到的带有分割遮拦的环形干涉图,采用Zernike环多项式作为基底函数系对波面数据进行拟合,并对拟合结果进行了理论分析和实验验证。首先,利用相关矩阵,在理论上分析了Zernike环多项式在带有分割遮拦...
刘克李艳秋刘景峰
关键词：光学测量波面拟合
文献传递
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