您的位置: 专家智库 > >

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇掩膜
  • 2篇扫描器
  • 2篇吸收器
  • 2篇激光
  • 2篇激光加工
  • 2篇激光加工技术
  • 2篇激光束
  • 2篇光束

机构

  • 2篇中国科学院长...

作者

  • 2篇李雨田
  • 2篇卡丹
  • 2篇奥列斯卡
  • 2篇李维
  • 2篇卜宪章
  • 2篇谢冀江

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2007
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种激光掩膜投影精细加工系统
一种激光掩膜投影精细加工系统,属于激光加工技术领域中涉及的加工系统。解决的技术问题是:提供一种激光掩膜投影精细加工系统。技术方案:包括激光器、扩束器、扫描器、光吸收器、掩膜、成像透镜、被加工件、工作台。在激光束的光轴上,...
李雨田谢冀江李维卜宪章卡丹奥列斯卡
文献传递
一种激光掩膜投影精细加工系统
一种激光掩膜投影精细加工系统,属于激光加工技术领域中涉及的加工系统。解决的技术问题是:提供一种激光掩膜投影精细加工系统。技术方案:包括激光器、扩束器、扫描器、光吸收器、掩膜、成像透镜、被加工件、工作台。在激光束的光轴上,...
李雨田谢冀江李维卜宪章卡丹奥列斯卡
文献传递
共1页<1>
聚类工具0