2025年1月8日
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张萌
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11
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供职机构:
沈阳中科博微自动化技术有限公司
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
康凯
沈阳中科博微自动化技术有限公司
王宏
沈阳中科博微自动化技术有限公司
林跃
沈阳中科博微自动化技术有限公司
张锐
沈阳中科博微自动化技术有限公司
周建辉
沈阳中科博微自动化技术有限公司
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自动化与计算...
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机构
11篇
沈阳中科博微...
作者
11篇
林跃
11篇
王宏
11篇
张萌
11篇
康凯
10篇
姜军
10篇
周建辉
10篇
张锐
4篇
邢芳
3篇
张彦武
年份
3篇
2013
8篇
2012
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半导体设备历史数据的记录管理方法
本发明公开一种半导体设备历史数据的记录管理方法,该管理方法包含以下步骤:对数据库进行初始化,分别建立批量索引表、单个索引表、原始数据表、统计数据表;从半导体设备的数据接口获取历史数据信息,根据历史数据类型存入数据库中相应...
王宏
康凯
林跃
张萌
姜军
周建辉
唐达鼎
张锐
邢芳
文献传递
一种面向集成电路生产线的多设备配方管理方法
本发明公开一种面向集成电路生产线的多设备配方管理方法,包括以下步骤:步骤1、启动配方服务器;步骤2、配方服务器建立配方索引表;步骤3、配方编辑界面首先从本地创建配方并上传至配方服务器;步骤4、配方服务器接收设备读取配方列...
王宏
张萌
林跃
康凯
文献传递
日志数据库系统的分卷管理方法
本发明公开一种日志数据库系统的分卷管理方法,该分卷管理方法主要步骤:获取日志信息并写入内存缓冲区;判断原数据库文件中记录数或占用空间大小是否超过设定值;如超过设定值,则新建数据库并以当前时间命名,从内存缓冲区中获取数据并...
王宏
康凯
林跃
姜军
张萌
张锐
周建辉
唐达鼎
文献传递
面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法
本发明涉及一种面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法,包括以下步骤:对集束半导体设备中的各个功能进行划分,根据不同功能构造出相应的功能模块;生成命令分派表和参数分派表;对集束半导体设备接收到的外部命令根据命令分派...
康凯
王宏
张彦武
林跃
周建辉
唐达鼎
姜军
张萌
张锐
用于IC装备的I/O配置工具参数的配置方法
本发明公开一种用于IC装备的I/O配置工具参数的配置方法,该方法包括如下步骤:启动配置工具,读取XML文件信息,在配置工具内修改XML文件信息,把修改后的数据存储在XML文件;本发明利用XML文件内以不同层次的节点来描述...
王宏
康凯
林跃
张锐
张萌
姜军
周建辉
唐达鼎
文献传递
半导体设备权限管理的方法
本发明公开一种半导体设备权限管理的方法,该方法包括以下步骤:用户登录半导体设备界面;按照登录名称查找数据库对应的密码;判断用户输入的密码与数据库密码是否一致;如果密码一致,进入权限服务器系统;判断半导体设备数据库的权限信...
王宏
康凯
林跃
姜军
张锐
周建辉
唐达鼎
张萌
邢芳
文献传递
IC装备配方编辑器的配置方法
本发明涉及一种IC装备配方编辑器的配置方法,包括以下步骤:启动配方编辑器中的配置窗体;在配置窗体中对IC装备配方中的配置信息进行配置,并保存为配置文件;重新启动配方编辑器,自动读取上述配置文件中的信息;配方编辑器根据所读...
康凯
王宏
张彦武
林跃
姜军
张萌
周建辉
唐达鼎
张锐
文献传递
半导体设备软件故障报警方法
本发明公开一种半导体设备软件故障报警方法,该方法包括包括如下步骤:在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集;对收集的现场半导体设备实时数据进行报警配置;通过报警信息配置接口还对报警预定值进行配...
王宏
康凯
林跃
姜军
邢芳
周建辉
唐达鼎
张萌
张锐
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面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法
本发明涉及一种面向集束半导体设备的反应腔和传片腔功能调用方法,包括以下步骤:对集束半导体设备中的各个功能进行划分,根据不同功能构造出相应的功能模块;生成命令分派表和参数分派表;对集束半导体设备接收到的外部命令根据命令分派...
康凯
王宏
张彦武
林跃
周建辉
唐达鼎
姜军
张萌
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半导体设备软件故障报警方法
本发明公开一种半导体设备软件故障报警方法,该方法包括包括如下步骤:在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集;对收集的现场半导体设备实时数据进行报警配置;通过报警信息配置接口还对报警预定值进行配...
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