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朱效立

作品数：155 被引量：122H指数：6
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学核科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 102篇专利
  • 43篇期刊文章
  • 7篇会议论文
  • 2篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 35篇电子电信
  • 22篇机械工程
  • 21篇理学
  • 4篇核科学技术
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇文化科学
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 57篇光刻
  • 50篇衍射
  • 33篇光栅
  • 31篇电子束光刻
  • 26篇光学
  • 20篇衍射光学
  • 19篇掩模
  • 19篇刻蚀
  • 18篇电子束直写
  • 17篇衍射效率
  • 15篇衍射光学元件
  • 15篇透射
  • 15篇光学元件
  • 14篇高宽比
  • 14篇衬底
  • 13篇大高宽比
  • 12篇X射线光刻
  • 12篇波带片
  • 11篇X射线
  • 10篇衍射光栅

机构

  • 147篇中国科学院微...
  • 27篇中国工程物理...
  • 6篇北京工业大学
  • 5篇长春理工大学
  • 4篇中国科学院
  • 3篇安徽大学
  • 2篇电子科技大学
  • 1篇北京大学
  • 1篇兰州大学
  • 1篇南京理工大学
  • 1篇清华大学
  • 1篇西南科技大学
  • 1篇中国科学技术...
  • 1篇中国科学院上...
  • 1篇国家纳米科学...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 155篇朱效立
  • 129篇谢常青
  • 110篇刘明
  • 39篇李海亮
  • 31篇李冬梅
  • 25篇牛洁斌
  • 20篇陈宝钦
  • 20篇辛将
  • 16篇刘慎业
  • 14篇叶甜春
  • 13篇方磊
  • 12篇曹磊峰
  • 11篇易涛
  • 11篇潘一鸣
  • 9篇贾佳
  • 9篇马杰
  • 9篇高南
  • 9篇赵珉
  • 8篇谢长青
  • 7篇王传珂

传媒

  • 7篇光学学报
  • 6篇微细加工技术
  • 6篇微纳电子技术
  • 5篇物理学报
  • 4篇强激光与粒子...
  • 4篇光电工程
  • 3篇Journa...
  • 3篇光子学报
  • 2篇核技术
  • 1篇光电子．激光
  • 1篇原子能科学技...
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇2013‘全...
  • 1篇第十四届全国...
  • 1篇2010(第...
  • 1篇2014`全...

年份

  • 4篇2021
  • 2篇2020
  • 3篇2019
  • 1篇2018
  • 5篇2017
  • 6篇2016
  • 7篇2015
  • 9篇2014
  • 25篇2013
  • 35篇2012
  • 14篇2011
  • 17篇2010
  • 10篇2009
  • 11篇2008
  • 4篇2007
  • 1篇2005
  • 1篇2004
共 155 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微光刻与电子束光刻技术
自从1958年美国德克萨斯公司试制了世界上第一块平面集成电路开始算起,在短短的五十余年中,微电子技术及微纳米技术以令世人震惊的速度突飞猛进地发展,创造了人间奇迹.作为微电子技术与纳米科学技术工艺基础的微光刻与电子束光刻技...
陈宝钦谢常青刘明赵珉吴璇牛洁斌任黎明王琴朱效立史丽娜徐秋霞
一种大高宽比衍射光学元件的制作方法
本发明公开了一种大高宽比衍射光学元件的制作方法，该方法采用电子束直写制作X射线曝光掩模板，采用接触式曝光实现透射衍射光学元件的制作，在透射薄膜衬底面溅射电镀种子层，然后旋涂负性光刻胶，再次利用X射线曝光，并显影电镀刻蚀电...
谢常青李海亮史丽娜朱效立刘明
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复合光子筛投影式光刻系统
本发明涉及微纳加工技术领域，公开了一种复合光子筛投影式光刻系统，该系统包括依次放置的照明系统、掩模板、复合光子筛和衬底，其中：照明系统，用于产生入射光，并将该入射光照射至掩模板；掩模板，用于提供复合光子筛成像的物方，入射...
谢常青高南华一磊朱效立李海亮史丽娜李冬梅刘明
一种高谱分辨与宽谱测量范围的透射光栅谱仪
本发明提供了一种高谱分辨与宽谱测量范围的透射光栅谱仪，所述的透射光栅谱仪包括入射狭缝、透射光栅、条纹相机以及与条纹相机相匹配的光阴极狭缝和光阴极；物体发出的X射线通过入射狭缝，经透射光栅色散，形成两个分辨率不同的光谱，两...
易涛王传珂刘慎业王保清李晋朱效立谢长青
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LED配光透镜曲面构造方法和LED配光透镜
本发明提供了一种LED配光透镜曲面构造方法和LED配光透镜，按照能量等分原则将LED光源划分成预设份数的子光源，并将确定的照明区域划分成与所述LED光源相同份数且每份面积相等的照明网格；按照能量守恒定律建立每份子光源和每...
谢常青辛将朱效立刘明
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光子筛及其制作方法
本发明实施例公开了一种光子筛及其制作方法。所述光子筛包括：透光衬底；位于所述透光衬底上的不透光多层膜，所述不透光多层膜包括多层相间设置的金属膜和介质膜；设置在所述不透光多层膜上、呈多个环带状分布的多个小孔，每一环带上的多...
李海亮史丽娜朱效立李冬梅谢常青刘明
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一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法
本发明公开了一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法。该方法包括：在双面抛光的硅基衬底的背面制备氮化硅自支撑薄膜窗口；在硅基衬底正面的氮化硅薄膜上旋涂电子束抗蚀剂HSQ；对该HSQ进行电子束直写曝光，形成光栅线条和包围该...
李海亮谢常青刘明李冬梅史丽娜朱效立
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微纳光学结构制备技术及应用
＜正＞本文首先简要介绍了近年来国外微纳光学结构制备技术的一些重要进展。接着报道了我们所发展的基于电子束+X射线+接近式光学的混合光刻制作微纳光学结构技术。基于我们的微纳光学结构加工平台,建立了微纳光子学器件复杂图形微光刻...
谢常青朱效立牛洁斌李海亮刘明陈宝钦胡媛史丽娜
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图形化装置及其使用方法
本发明公开了一种图形化装置及其使用方法，所述图形化装置包括：探针，用于配合腐蚀液在衬底表面形成预设图形，其中，在腐蚀液环境中，探针与衬底表面接触后，衬底的接触部分被溶解；以及探针驱动装置，用于驱动探针沿所述预设图形的轨迹...
李海亮牛洁斌王冠亚朱效立谢常青叶甜春
文献传递
基于硫系相变材料GST的干法显影方法
本发明公开了一种基于硫系相变材料GST的干法显影方法，包括：在衬底上沉积一层Ge<Sub>2</Sub>Sb<Sub>2</Sub>Te<Sub>5</Sub>薄膜；根据预设图形使用电子束对Ge<Sub>2</Sub>S...
何佩谣谢常青朱效立牛洁斌叶甜春
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