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文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学

主题

  • 1篇乙烯
  • 1篇乙酯
  • 1篇聚苯
  • 1篇聚苯乙烯
  • 1篇抗蚀剂
  • 1篇光致
  • 1篇光致抗蚀剂
  • 1篇苯乙烯
  • 1篇
  • 1篇标样

机构

  • 2篇南开大学

作者

  • 2篇李胜
  • 2篇李春荣
  • 2篇黄家贤
  • 1篇丁伦汉
  • 1篇李赫
  • 1篇曹秀兰
  • 1篇陈国华

传媒

  • 1篇感光科学与光...
  • 1篇化学试剂

年份

  • 1篇1991
  • 1篇1990
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
聚(肉桂酸乙烯基氧乙酯)的合成与表征被引量:2
1991年
本文报道的是一种聚(肉桂酸乙烯基氧乙酯)负性光致抗蚀剂。它具有分辨力和灵敏度高、粘附性强、显影后很少产生皱胶、针孔罕见、贮存稳定和等离子去胶效果好等优异性能。在—75℃的温度下,向肉桂酸乙烯基氧乙酯单体中注入三氟化硼乙醚引发剂即可发生阳离子聚合,制得聚(肉桂酸乙烯基氧乙酯)。使用精制单体和助催化剂,在低温条件下,可合成出高分子量和高聚合产率的聚(肉桂酸乙烯基氧乙酯)。通过分级试样的光散射和粘度测定确立了相应的Mark-Houwink方程. 这种负胶的光刻最细条宽为0.5μm,适用于1—1.5μm以上条宽的生产工艺。
黄家贤李胜李春荣雷锦春陈国华李赫
关键词:光致抗蚀剂
公斤级聚苯乙烯标样的合成及其表征被引量:4
1990年
以阴离子活性聚合法合成了分子量窄分布的聚苯乙烯,并通过粘度测量、GPC 测量和光散射测量确定了线型聚苯乙烯于25℃甲苯中的 Mark-Houwink 方程[η]=8.41×10^(-3)×M^(0.74)。
李春荣黄家贤李胜姜炜曹秀兰丁伦汉肖秋生
关键词:聚苯乙烯标样
共1页<1>
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