潘晋
- 作品数：18 被引量：10H指数：2
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- 真空吸附型气体支承的分析
- 潘晋潘龙法沈钊
- 关键词：电子束加工支承元件工作台(机床)
- 精密工作台自吸式空气支承的研究
- 潘晋沈钊周昌恩
- 关键词：工作台(机床)有限元法支承静压力
- 转轴强度计算中的安全系数函数
- 2001年
- 利用奇异函数的性质，导出了转轴的静强度和疲劳强度安全系数函数，可用于转轴强度的计算机分析和优化设计。
- 陈连王元文潘晋
- 关键词：奇异函数静强度
- 转轴强度分析的奇异函数法
- 2001年
- 利用奇异函数，导出转轴的应力函数和等强度直径函数，然后用优化方法确定危险截面，可以在不画扭矩图和弯矩图的情况下进行转轴的强度分析。
- 陈连王元文潘晋
- 关键词：转轴奇异函数应力函数强度分析
- 阶梯梁弯曲变形的普遍表达式及其应用
- 2001年
- 介绍了阶梯梁弯曲变形的普遍表达式，并对其应用情况进行了研究．该表达式对阶梯 梁的计算机分析和优化设计有实用价值。
- 陈连王元文潘晋
- 精密工作台气体静压轴承的有限元分析被引量：4
- 1989年
- 一、引言气体静压轴承由于采用粘度较小的气体作为润滑剂,因而具有摩擦阻力小,运动速度快,精度高,无爬行等特点。而且,气体可由支承排入大气,不污染环境和光电器件,不必采用专门的密封装置,适用于大规模集成电路制造中的工艺条件,所以是图形发生器,光刻机,铭版机,
- 潘晋徐丰仁沈钊
- 关键词：静压轴承有限元分析气体工作台
- 行星轮系的概率优化设计被引量：1
- 2001年
- 对 2 K - H (NGW)行星轮系的概率优化设计方法进行了研究 ,建立了数学模型 ,编制了计算机程序 .根据具体设计条件 。
- 陈连王元文潘晋
- 关键词：行星轮系可靠性优化设计计算机程序机械设计目标函数
- 粗糙表面气体静压润滑轴承的研究
- 本文采用平均流量模型,导出粗糙表面气体静压润滑轴承平均雷诺方程, 将全膜润滑、部分膜润滑以及光滑表面、粗糙表面统一描述。然后运用等参有限元伽辽金法求解,分析了表面波度、粗糙度对轴承特性的影响,得出了对轴承设计、加工有益的...
- 潘晋沈钊徐丰仁
- 关键词：气体轴承静压润滑有限元
- 文献传递
- 精密工作台气体静压轴承的理论分析
- 潘晋徐丰仁沈钊
- 关键词：光刻机刚度静压气体轴承工作台(机床)
- 电子束曝光机工件台磁吸式气浮支承磁路计算和试验
- 潘龙法潘晋李丙臣
- 关键词：电子束光刻工作台(机床)
