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祝亚琴

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：吉林大学电子科学与工程学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇准分子
  • 3篇准分子激光
  • 3篇激光
  • 3篇分子
  • 2篇掺杂
  • 1篇砷化镓
  • 1篇准分子激光器
  • 1篇激光器
  • 1篇分子激光器
  • 1篇SI
  • 1篇ZN
  • 1篇GAAS衬底
  • 1篇衬底
  • 1篇GAAS

机构

  • 3篇吉林大学

作者

  • 3篇祝亚琴
  • 2篇张玉书
  • 1篇马力
  • 1篇任临福
  • 1篇戴国瑞
  • 1篇石景龙

传媒

  • 1篇吉林大学自然...
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇1993
  • 2篇1992
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
GaAs中准分子激光诱导掺Zn和Si的研究
1993年
本文报导了用XeCl激光器实现向半绝缘GaAs衬底掺Zn的实验结果,给出了Zn原子的纵向分布以及掺杂后方块电阻与激光脉冲次数的关系曲线,同时在相同衬底上采用气体源进行了掺Si实验研究.
祝亚琴马力任临福石景龙戴国瑞张玉书
关键词：准分子激光器掺杂砷化镓
GaAs衬底的准分子激光诱导掺杂特性研究
祝亚琴
准分子激光掺杂
1992年
本文介绍了准分子激光掺杂的基本原理及特点,概括总结了近年来所取得的典型研究结果,最后指出这项技术在集成电路中的应用。
祝亚琴张玉书
关键词：掺杂准分子激光
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