谢健
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：四川大学电子信息学院光电科学技术系更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 准分子激光光刻AZ1350SF正胶的实验研究
- 1992年
- 80年代,准分子激光一出现,世界上各先进国家就开展了准分子激光光刻的研究工作。目前,美、日等国准分子激光光刻水平已低于0.4μm的分辨率。他们研究中采用准分子激光多为KrF和XeCl激光,光致抗蚀剂有MP2400,PMMA,PMGI和NOVOLAK等,XeCl激光暴光时采用的是重氮型光刻胶AZ2400。我们采用XeCl准分子激光(波长为308nm)对美国正胶AZ1350SF进行光刻研究,研究中获得一些重要实验结果。
- 田文彦曾传相潘大任谢辉周业为谢健
- 关键词：准分子激光光刻正胶
- YAG激光器中不同聚光腔的实验比较及分析
- 1982年
- 在脉冲YAG激光器中,在保持激光棒、泵浦氙灯、谐振腔不变的情况下,实验研究了不同聚光腔对该器件振荡效率的影响,并作了相应的分析。实验表明,精心制作的用MgO粉压制的漫反射聚光腔有不低于单椭园柱聚光腔的效率,并且有制作简便、成本低、照明较均匀、性能稳定、灯和激光棒能方便地同时冷却等优点。
- 曾传相杨守智周业为谢健
- 关键词：YAG激光器聚光腔激光棒漫反射MGO氙灯
- 利用激光散斑测量CCD的调制传递函数被引量：2
- 1999年
- 在分析了影响CCD调制传递函数 (MTF)诸种因素的基础上 ,选取一些半导体材料的典型值 ,数值模拟计算了MTF .利用激光照明粗糙表面的物体所形成的散斑图样 ,根据散斑功率谱经CCD成像前后的变化 ,确定CCD的调制传递函数 .
- 周昕程新路黄援朝谢健
- 关键词：激光散斑功率谱CCD
