邱成军
- 作品数：73 被引量：202H指数：7
- 供职机构：黑龙江大学电子工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划黑龙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术机械工程更多>>
- 酞菁铅薄膜气体传感器的研制及其特性研究
- 采用MEMS技术研制了一种以材料硅为基底,具有立体结构的酞菁铅(PbPc)薄膜气体传感器.阐述了该传感器的工作原理、结构设计及工艺流程,给出了酞菁铅薄膜的制备方法,并对PdPc薄膜气体传感器进行了敏感特性研究.
- 邱成军左霞孙艳美孔姗姗
- 关键词：气体传感器
- 文献传递
- 高性能PZT压电厚膜及MEMS微驱动器技术研究
- 2011年
- 运用混合溶胶-凝胶法制备了具有钛酸铅(PT)种子层的PZT基压电复合厚膜,包括(100)取向PZT压电厚膜,PZT纳米颗粒增强PZT压电复合厚膜((0-3)PZT)和氧化锌晶须增强PZT复合厚膜(ZnOw-PZT)。通过结构表征,研究了工艺条件和膜厚对PZT基厚膜的生长、结晶、取向和微结构的影响,给出最佳工艺条件。并介绍了无阀型压电MEMS微泵、V型阀式压电MEMS微泵、压电悬臂梁和三压电悬臂驱动的悬浮膜片式MEMS微镜等微器件的性能。
- 曹茂盛路冉赵全亮刘红梅邱成军袁杰
- 关键词：PZT厚膜溶胶-凝胶法MEMS
- 一种极低功耗自偏置CMOS带隙基准源被引量：1
- 2015年
- 基于CMSC 0.18um CMOS工艺,设计了一种自偏置结构带隙基准源,利用自偏置结构能够省略启动电路。所有MOS管工作在亚阈值范围,电路总功耗能够降低到n A级。利用华大九天Aether软件验证平台,仿真结果表明,电路最低工作电源电压为0.8V,在-40-80度之间,温度系数27ppm/℃。在温度27℃、电源电压0.8V时,输出基准电压为543m V,低频电源电压抑制比为90d B,高频为46d B,功耗仅为4.2n W,电路面积为0.05mm。
- 吕阳王春雷朱杰邱成军
- 关键词：带隙基准源低功耗自偏置
- MEMS结构氧传感器的研究被引量：6
- 2005年
- 采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料,具有MEMS结构的氧传感器。阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析。给出了溅射制备TiO2薄膜的方法及锐钛矿型晶体结构能谱,讨论了二氧化钛的氧敏机理。研究表明与传统的气体传感器相比,此种传感器具有体积小、低功耗、可集成的特点。
- 邱成军刘鑫曲伟张辉军
- 关键词：MEMS氧传感器磁控溅射
- 磁控溅射制备掺银TiO_2薄膜的光催化特性研究被引量：11
- 2005年
- 利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响。并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银对TiO2薄膜增强光催化作用的工作机理,研究结果表明掺银有利于TiO2薄膜对有机物的降解作用。
- 邱成军曹茂盛张辉军刘红梅田风军刘鑫
- 关键词：锐钛矿相射频磁控溅射光催化活性
- 溶胶-凝胶法制备纳米PZT粉体及结构表征被引量：11
- 2006年
- 采用改进的溶胶-凝胶法，以乙二醇为溶剂，硝酸锆为锆源，制备了纳米Pb（Zr0.52Ti0.48）O3粉体。通过溶胶的红外光谱分析给出了溶胶、凝胶形成的机理。通过IR，TG-DTA，XRD，SEM，TEM分析对PZT纳米晶的生长过程及性能进行了表征。实验证明：在650℃热处理2h，获得较完整钙钛矿型PZT，粒径约为50～100nm。
- 刘红梅张德庆林海波张亮刘海涛邱成军曹茂盛
- 关键词：溶胶-凝胶乙二醇锆钛酸铅纳米粉体
- 采用钛镍铜合金膜驱动的弦锥结构微驱动器及制备方法
- 采用三元钛镍铜形状记忆合金膜驱动的弦锥结构微驱动器及其制备方法，形状记忆合金驱动薄膜采用溅射方式沉积，并应用MEMS工艺完成条形化电阻设计。微驱动器的上、下体结构采用Si刻蚀工艺制备，并实现键合焊接，其组成包括：能起到压...
- 张辉军邱成军杨长生
- 文献传递
- 定向井轨迹的单片机单/多点测量系统被引量：3
- 2004年
- 为了实现油田钻井过程中井轨迹定向的测量,利用单片机的定时和控制功能开发出单/多点测量及数据采集系统。由于PIC16C54单片机具有体积小,功耗低,可靠性强等优点,实现了单片机在地下85℃环境下采用电池电源工作,定时照相和对井下定位数据的自动采集等功能。
- 邱成军卜丹平占彪
- 关键词：定向井轨迹单片机数据采集系统定向钻井
- 油田洗井自控装置与过程控制研究
- 油田洗井自控装置是利用单片机、流量计和电动调节阀组成的自控系统,在热洗井过程中根据油井热洗理论和油井结垢、结蜡的实际情况,控制每一工序洗井液的流量和时间;同时根据来水温度T1和回水温度T2,决定洗井工作的起停.实现了油田...
- 吴大军孟庆旭倪蕴涛邱成军
- 关键词：热洗井自动控制清蜡温度控制
- 文献传递
- 基于嵌入式系统人员计数统计的方法及设备
- 基于嵌入式系统人员计数统计的方法及设备，现有的采集人体信息的方式所采集的信息都是杂乱的。本发明方法：信号采集：将信号采集装置的探测器放置在人体通过区域的顶部，经过改造的光学系统，红外热释电传感器只对限定探测区域内的人体信...
- 邱成军窦雁巍卜丹邓舸古力
- 文献传递
