乔治
- 作品数:4 被引量:7H指数:2
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金:中国科学院知识创新工程重要方向项目国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计被引量:2
- 2006年
- 设计了一种基于双压电薄膜驱动的微喷芯片,该芯片中每个流体单元结构主要是由进样室、微管道、喷口以及集成了PZT驱动器的主副贮液室组成,其中主驱动器提供喷射液体的驱动力,副驱动器抑制液体回流;采用计算流体力学模拟(CFD-simulation)对其进行了结构设计、进样模拟和喷样模拟,结果表明,液体能成功进样及喷样。同时当微管道尺寸小于40μm时,喷样过程中微管道内将不再产生回流,证明双PZT驱动器的芯片设计合理,为该芯片的制作打下基础。
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- 关键词:CFD模拟
- 基于MEMS的生物微喷点样技术研究现状与展望被引量:4
- 2006年
- 基于MEMS的生物微喷点样技术研究是当今药物分配领域中的热点。与传统方法相比,微喷点样技术具有体积小、操作简便、速度快等优点。对近几年微喷点样技术的研究新进展进行了综述,按照驱动方式的不同对各种微喷点样技术进行了分类,并分别阐述了各自不同的制作方法,最后分析了MEMS微喷点样技术所面临的挑战和发展趋势。
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- 关键词:微喷微阵列
- 硅微喷阵列芯片的设计、制作与应用研究被引量:3
- 2006年
- 介绍了一种用于制作生物微阵列的新型微喷阵列芯片。基于半导体光刻技术和干法刻蚀技术,成功制作了喷孔外侧含有间隙环的硅微喷阵列芯片,解决了溶液进样难、微阵列样品点缺失、样品点漂移以及液体回流等问题。在5 kPa气压驱动下,该芯片中的样品能在3.4 mm×3.4 mm的玻璃片上制成5×5样品微阵列,25个点的直径平均值为356μm,直径的变异系数(25个点直径的标准偏差与算术平均值的比值)为2.8%。计算流体力学模拟结果和实验结果均表明,该微喷阵列芯片能快速、稳定地制作出样品点大小均一的微阵列,进一步推动了微阵列芯片的应用和发展。
- 许宝建乔治金庆辉赵建龙
- 关键词:微阵列深反应离子刻蚀计算流体力学模拟
- 生物微喷阵列芯片的设计与优化
- 微阵列分析(Microarray Analysis)技术是近年来快速发展的一种新兴的分析方法,涉及微机电系统(MEMS)、生物化学、分析化学和计算机科学等学科。作为中低密度微阵列分析中的研究热点,微喷阵列系统的发展迅速,...
- 乔治
- 关键词:溶胶凝胶法微机电系统压电材料
- 文献传递