廖继平
- 作品数：5 被引量：8H指数：2
- 供职机构：南开大学电子信息与光学工程学院现代光学研究所更多>>
- 发文基金：天津市科技发展战略研究计划项目国家自然科学基金天津市科技支撑计划重点项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度的研究被引量：2
- 2009年
- 理论上研究了声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度对系统灵敏度的影响。分析了气体浓度、敏感薄膜厚度、敏感薄膜密度对系统灵敏度的共同影响。提出了最佳薄膜厚度的概念,并给出了相应的关系式。
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- 关键词：声表面波
- 声表面波气体传感器的检测优化设计被引量：2
- 2010年
- 介绍了声表面波气体传感器的检测原理。设计了传感器的驱动电路,把声表面波器件作为反馈回路中的一个感抗元件,使回路产生振荡,同时检测输出频率和幅度的变化,比以往单一检测频率的变化,提高了检测精度。采用基底为ST切石英延迟线型结构,镀上金属氧化物,测试了对二氧化氮的敏感特性。由于气体和氧化物的相互作用,输出频率和幅度均下降。当把测试箱打开放出气体,频率很快恢复到初始频率点,而幅度基本保持平稳。
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- 关键词：声表面波气体传感器延迟线二氧化氮
- 声表面波谐振型气体传感器的研究被引量：4
- 2010年
- 分析和设计了声表面波谐振型气体传感器的叉指换能器和反射栅的最佳结构,研制了ST切石英基底的双端对声表面波谐振型气体传感器,研制了一种高稳定性的振荡器电路。用所研制的ST切石英基底,谐振频率148.5 MHz,敏感薄膜为酞菁铜的双端对声表面波谐振型气体传感器进行了NO_2气体传感检测实验,检测了传感器声表面波振幅的变化,其优点是传感器的声表面波振幅的温度波动远小于通常传感器所检测的声速,提高检测温度稳定性。实验结果证明了所研制的器件具有很好的实用性。
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- 关键词：气体传感器谐振器
- 多通道声表面波化学传感装置
- 本实用新型公开了一种多通道声表面波化学传感装置，包括多通道声表面波化学传感器和混频电路、振荡电路，多通道声表面波化学传感器通过在多通道声表面波传感器上的每个检测通道上贴附不同的敏感薄膜而构成。多通道声表面波传感器以压电晶...
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- 文献传递
- 声表面波气体传感器的实验设计与研究
- 声表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)气体传感器是一种新型的传感系统。具有独特的优点，设计结构灵活，对电、热、力、声、光、化学及生物等多种因素敏感，并且涉及表面波理论、器件工艺、薄膜理论、电磁、检...
- 廖继平
- 关键词：声表面波气体传感器
- 文献传递
