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文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇功率
  • 1篇刚石
  • 1篇大面积金刚石...
  • 1篇高功率

机构

  • 2篇北京科技大学
  • 2篇河北省科学院

作者

  • 2篇唐伟忠
  • 2篇罗廷礼
  • 2篇吕反修
  • 2篇张永贵
  • 2篇郭辉
  • 2篇孙振路
  • 1篇潘存海
  • 1篇王志娜
  • 1篇唐才先
  • 1篇吴晓波
  • 1篇臧建民
  • 1篇刘敬明
  • 1篇钟国仿
  • 1篇崔文秀
  • 1篇杜素梅
  • 1篇佟玉梅
  • 1篇李国华
  • 1篇李国华
  • 1篇宋建华
  • 1篇王少岩

传媒

  • 1篇材料研究学报
  • 1篇河北省科学院...

年份

  • 1篇2001
  • 1篇1997
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
廉价制备大面积金刚石膜的高功率直流等离子体喷射设备的研制被引量:5
1997年
本文介绍了在863新材料领域资助下最新研制成功的100kw级高功率直流等离子体喷射(DCPlasmaJet)金刚石膜沉积系统。利用该系统在氩气—氢气—甲烷气体系中进行了初步的工艺试验,经过40小时的连续运行,在Φ110mm的基片上沉积出中心厚1.9mm,边沿厚1.6mm的金刚石膜。平均生长速率达44μm/h。
臧建民潘存海唐才先杜素梅罗廷礼张永贵康增江石尔平王少岩孙振路郭辉崔文秀李国华王志娜吴晓波臧怀壮钟国仿王豪唐伟忠吕反修
关键词:金刚石
大面积高光学质量金刚石自支撑膜的制备被引量:10
2001年
介绍了一种新型的磁控/流体动力学控制的大口径长通道直流电弧等离子体炬,并据此设计建 造了 100千瓦级高功率 DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜沉积系统 讨论了该系统采用的半封闭式 气体循环系统的工作原理。
吕反修唐伟忠刘敬明宋建华佟玉梅于文秀李国华罗廷礼张永贵郭辉孙振路何其玉
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