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张永贵
作品数:
2
被引量:14
H指数:2
供职机构:
河北省科学院
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相关领域:
理学
一般工业技术
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合作作者
孙振路
河北省科学院
郭辉
河北省科学院
吕反修
北京科技大学材料科学与工程学院...
罗廷礼
河北省科学院
唐伟忠
北京科技大学材料科学与工程学院...
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高功率
机构
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北京科技大学
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河北省科学院
作者
2篇
唐伟忠
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罗廷礼
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吕反修
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张永贵
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郭辉
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孙振路
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潘存海
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王志娜
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唐才先
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吴晓波
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臧建民
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钟国仿
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崔文秀
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杜素梅
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佟玉梅
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李国华
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李国华
1篇
宋建华
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王少岩
传媒
1篇
材料研究学报
1篇
河北省科学院...
年份
1篇
2001
1篇
1997
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2
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廉价制备大面积金刚石膜的高功率直流等离子体喷射设备的研制
被引量:5
1997年
本文介绍了在863新材料领域资助下最新研制成功的100kw级高功率直流等离子体喷射(DCPlasmaJet)金刚石膜沉积系统。利用该系统在氩气—氢气—甲烷气体系中进行了初步的工艺试验,经过40小时的连续运行,在Φ110mm的基片上沉积出中心厚1.9mm,边沿厚1.6mm的金刚石膜。平均生长速率达44μm/h。
臧建民
潘存海
唐才先
杜素梅
罗廷礼
张永贵
康增江
石尔平
王少岩
孙振路
郭辉
崔文秀
李国华
王志娜
吴晓波
臧怀壮
钟国仿
王豪
唐伟忠
吕反修
关键词:
金刚石
大面积高光学质量金刚石自支撑膜的制备
被引量:10
2001年
介绍了一种新型的磁控/流体动力学控制的大口径长通道直流电弧等离子体炬,并据此设计建 造了 100千瓦级高功率 DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜沉积系统 讨论了该系统采用的半封闭式 气体循环系统的工作原理。
吕反修
唐伟忠
刘敬明
宋建华
佟玉梅
于文秀
李国华
罗廷礼
张永贵
郭辉
孙振路
何其玉
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