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李敏

作品数：5 被引量：4H指数：1
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
发文基金：上海市科委纳米专项基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇溶胶
  • 2篇溶胶-凝胶
  • 2篇PZT薄膜
  • 2篇XRD
  • 2篇AFM
  • 1篇电学性能
  • 1篇压电薄膜
  • 1篇溶胶-凝胶法
  • 1篇体声波
  • 1篇体声波谐振器
  • 1篇微观结构
  • 1篇谐振器
  • 1篇漏电
  • 1篇漏电流
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米材料
  • 1篇晶化
  • 1篇薄膜体声波谐...
  • 1篇NANO-S...
  • 1篇PZT

机构

  • 5篇上海交通大学

作者

  • 5篇惠春
  • 5篇李敏
  • 4篇徐爱兰
  • 3篇倪鹤南
  • 2篇汪静
  • 1篇孙建平
  • 1篇侯安州

传媒

  • 2篇压电与声光
  • 1篇纳米科技
  • 1篇第六届中国国...
  • 1篇第六届中国纳...

年份

  • 1篇2009
  • 3篇2007
  • 1篇2005
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
PZT压电薄膜的纳米结构特征与性能
采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备纳米尺度的PZT薄膜,研究了520nm和670nm两种不同厚度PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能。实验结果表明:厚度为670nm的压电薄...
倪鹤南惠春徐爱兰李敏
关键词：纳米材料溶胶-凝胶法微观结构表面形貌电学性能
文献传递
Nano-Structure Character and Performance of PZT thin film
The modified So1-Gel methods are utilized to prepare nanosized PZT thin films on Pt／Ti／SiO2／Si substrate. The ...
倪鹤南惠春徐爱兰李敏
关键词：XRDAFMSOL-GEL
纳米晶PZT薄膜体声波谐振器的研究被引量：3
2009年
采用改进的溶胶-凝胶（Sol—Gel）法，在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜，并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器。用Ⅺ射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明，PZT薄膜具有（110）择优取向，良好的短柱状自行晶结构及平滑的表面，晶粒平均尺寸为50～60nm。介电性能测试结果表明，介电常数保持约800，损耗角为0．02。用网络分析仪测试体声波谐振器得到较好的频率特性，即串、并联谐振频率分别为2．91GHz和3．01GHz，机电耦合系数为8．18％。在敏感元电极上加载1μL浓度为0．2μg／pL的磁性微球溶液，谐振频率降低了0．09GHz。
倪鹤南侯安州李敏徐爱兰惠春
关键词：薄膜体声波谐振器
纳米尺度压电薄膜PZT的结构特征和性能被引量：1
2007年
采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备锆钛酸铅(PZT)纳米晶薄膜,研究了不同的热处理方式对PZT薄膜的晶粒结构、尺寸及电学性能的影响。X-射线衍射(XRD)分析表明:传统的热处理方式更有利于得到具有一定择优取向性的PZT薄膜。原子力显微镜(AFM)显示:快速热处理方式使PZT薄膜的晶粒具有自形晶结构,晶粒的排布更为有序,从而改善了薄膜的致密性。阻抗分析仪的测试结果表明:经快速热处理的薄膜,漏电流大约比传统热处理处理的薄膜的漏电流降低了20倍左右。
李敏惠春徐爱兰汪静孙建平
关键词：PZT薄膜
不同晶化处理方式对PZT薄膜性能的影响
2005年
采用改进的溶胶一凝胶（sol—gel）法在Pt／Ti／SiO2／Si基片上制备PZT薄膜，研究不同的晶化处理方式对PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能的影响。实验结果表明：快速晶化处理方式更有利于薄膜沿（110）方向的择优生长；并且相对于常规晶化处理方式，快速晶化处理方式制备的PZT薄膜晶粒均匀，排布有序，可有效的提高薄膜的表面质量。电学性能测试结果表明，这种表面形貌可以有效地降低漏电流。
李敏惠春汪静
关键词：PZT薄膜XRDAFM漏电流溶胶-凝胶
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