李英辉
- 作品数：5 被引量：6H指数：2
- 供职机构：光明化工研究设计院更多>>
- 相关领域：经济管理化学工程环境科学与工程更多>>
- 半导体生产用剧毒气体解毒技术的研究
- 2009年
- 在半导体制造过程中,需要使用大量有毒性气体,如SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、PH3、CH3Br、H2S、H2Se、AsH3等。这些气体易燃、易爆、有毒,对人身及环境有危害性,为了确保IC等新型半导体材料产业顺利发展,开展气体解毒研究意义重大。传统上采用酸、碱、氧化剂的湿法工艺,存在许多弊病,近年来,剧毒气体干法解毒技术发展迅猛。本文介绍了该技术的原理,希望国产解毒装置能适应IC发展需求。
- 孙福楠吴江红柳蔚李英辉于大秋冯庆祥
- 关键词：半导体SIH4PH3干法解毒
- 简谈中国气体被引量：3
- 2008年
- 回顾我国气体20多年所走的道路,通过分析同国外气体发展的差别,强调气体基础研究的重要意义,对我国特种气体由量的满足到质的飞跃充满信心。
- 孙福楠吴江红柳蔚李英辉冯庆祥
- 关键词：标准气体电子气体工业气体
- 危机下的中国气体
- 对新形势下的中国气体进行了详细的回顾,展望中国气体的未来,指出随着金融危机的过去,传统的气体生产理念和经营方式也将发生质的变化,这将为中国气体同国际接轨起到里程碑的作用。
- 孙福楠吴江红于大秋李英辉
- 关键词：高纯气体电子气体硅烷气体生产
- 文献传递
- 浅谈中国气体
- 回顾我国气体20多年所走的道路，通过分析同国外气体发展的差别，强调气体基础研究的重要意义，对我国特种气体由量的满足到质的飞跃充满信心．
- 孙福楠吴江红柳蔚李英辉冯庆祥
- 关键词：标准气体电子气体工业气体
- 超纯氩(氦)净化技术被引量：3
- 2009年
- 介绍了超高纯氩气的提纯方法。通过采用联合的单元操作,可以生产99.9999%纯度的超纯氩气,同时大大减少了贵重吸气剂的消耗。
- 孙福楠吴江红于大秋李英辉柳尉
- 关键词：吸气剂ZR-AL
