杨贵龙
- 作品数：5 被引量：0H指数：0
- 供职机构：黑龙江省光电技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 光子热丝法沉积金刚石膜(英文)
- 2001年
- 采用一种改进的热丝 CVD系统沉积金刚石膜。在传统热丝 CVD腔中设置一套红外线发 生器，中心波长 3.5μ m,处于氢与甲烷分子拉伸振动吸收峰位置。由于共振吸收能量使反应气 体分解加强 ,在反应区获得较高浓度的原子氢和活性碳氢基团，使金刚石膜的生长速率和品质得到了提高。
- 彭鸿雁申家镜杨贵龙邵春雷魏雪峰杨广亮金曾孙
- 关键词：金刚石膜生长速率CVD
- 快速制备大面积均匀纳米功能膜的装置
- 快速制备大面积均匀纳米功能膜的装置,它是在真空罩的罩体上分别设有激光入射窗口、抽气口、红外光扩束窗口、充气窗口、靶体动力输入口、检验窗口、碘钨灯、观察窗口、靶体电极、衬底电极、衬底动力输入口,在对应靶体动力输入口和衬底动...
- 申家镜彭鸿雁杨贵龙彭寄星王军
- 文献传递
- 双波长激光辅助沉积功能膜的方法
- 双波长激光辅助沉积功能膜的方法,其特征是将高频脉冲准分子激光输出的紫外激光束经分光镜分为二束,一束经透镜聚焦到靶体上,另一束经扩束镜均匀照射到整个衬底表面上,同时将红外激光器输出的红外激光经扩束镜均匀照射到整个衬底表面上...
- 申家镜彭鸿雁杨贵龙彭寄星
- 文献传递
- 准分子激光快速制备多种材料纳米粉体装置
- 准分子激光快速制备多种材料纳米粉体装置,它由罩体1和设于罩体1内的靶架2、收料辊3、刮板4、收料斗5和收料槽6构成。它与准分子激光器配合使用,可快速将多种不同材料物质制备成纳米级粒度粉体。
- 申家镜彭鸿雁杨贵龙
- 文献传递
- 脉冲负偏压对热丝CVD金刚石膜形核及生长形貌的影响
- 2000年
- 脉冲负偏压形核可增加衬底形核密度 ,最高可达 10 8/cm2 ,且晶核分布均匀。在此种晶核基础上生长的金刚石膜的微观形貌中 ,取向为 [10 0
- 杨贵龙魏雪峰
- 关键词：形核取向CVD金刚石膜
