袁艳蕊
- 作品数：3 被引量：16H指数：2
- 供职机构：广东工业大学更多>>
- 发文基金：广东省科技计划工业攻关项目广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
- 单晶硅游离磨粒线切割技术研究被引量：11
- 2009年
- 游离磨料多线切割技术具有切割效率高、切口材料损耗小、表面损伤程度浅、切割噪声小等优点,能满足晶圆大直径化发展的加工需求。但游离磨料线切割技术发展历史短,目前还缺乏对游离磨料线切割过程材料的去除本征规律的充分认识和系统研究。本文介绍了游离磨料线切割方法的工作原理,综合分析了游离磨料线切割硅片的材料去除机理、切割线振动模型、切割温度及其影响因素等方面的研究结果,以期为游离磨料多线切割技术的深入研究和推广应用提供基础。
- 舒继千魏昕袁艳蕊
- 关键词：单晶硅
- 游离磨料线切割硅晶体过程的切割液作用规律研究
- 近年来,IC产业和PV产业迅猛发展,对硅材料的需求大大增加。对硅晶片的上游加工技术-蝣离磨料线切割加工技术的研究方兴未艾,而针对线切割中切割液的研究很少。本文旨在于研究游离磨料线切割加工中切割液参数对过程振动及过程张紧力...
- 袁艳蕊
- 关键词：线切割单晶硅
- 文献传递
- 游离磨料线切割的切割液行为综述被引量：7
- 2009年
- 本文阐述了游离磨料线切割的原理及线切割中的弹性流体动压效应的概念,对游离磨料线切割过程中的切割液行为的理论研究现状进行了综述,主要包括弹性流体动压效应数学模型的建立和压力与膜厚的数值求解等,此外,还从切割液成膜状态、振动对切割效率的影响、切割液的组成配方对切削效果和效率的影响等方面对游离磨料线切割过程中的切割液行为的实验研究进行了总结归纳。这些成果对于推动游离磨料线切割技术深入研究和推广应用具有参考意义。
- 袁艳蕊魏昕丁寅
- 关键词：线切割
