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谢雷

作品数:3 被引量:21H指数:2
供职机构:厦门大学化学化工学院化学系更多>>
发文基金:国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金更多>>
相关领域:电子电信理学机械工程化学工程更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 2篇电化学
  • 2篇刻蚀
  • 2篇
  • 2篇CELT
  • 1篇氧化钛
  • 1篇英文
  • 1篇约束刻蚀剂层...
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子学
  • 1篇光电化学
  • 1篇二氧化钛
  • 1篇分辨率
  • 1篇半导体
  • 1篇SECM

机构

  • 3篇厦门大学
  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇理化学研究所

作者

  • 3篇祖延兵
  • 3篇谢雷
  • 2篇田昭武
  • 2篇毛秉伟
  • 2篇罗瑾
  • 1篇孙立宁
  • 1篇周静
  • 1篇谢兆雄
  • 1篇苏连永
  • 1篇林仲华

传媒

  • 2篇物理化学学报
  • 1篇电化学

年份

  • 1篇1998
  • 2篇1997
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
利用约束刻蚀剂层技术提高硅的刻蚀分辨率(英文)被引量:1
1997年
高分辨率刻蚀技术对于微机械及微电子器件的加工具有十分重要的意义,而硅是其中极为重要并占统制地位的材料。近年来,扫描电化学显微镜(SECM)用于表面加工的研究颇受注目。然而,SECM刻蚀分辨率往往因为刻蚀剂的横向扩散而受到限制。最近,田昭武等提出的一种可进行高分辨率微加工的新方法——约束刻蚀剂层技术(CELT),可使刻蚀反应具有高度的距离敏感性,刻蚀分辨率得到极大改善。我们利用CELT技术刻蚀硅表面,以60μm及100μm直径微电极产生刻蚀剂Br2,刻蚀溶液中加入亚砷酸作为Br2的捕捉剂刻蚀得到的图案与所用微电极尺寸符合,直径分别约为60μm和100μm。与SECM方法得到的110μm和180μm分辨率相比,刻蚀分辨率得到大幅度提高。
祖延兵谢雷毛秉伟穆纪千谢兆雄田昭武孙立宁
关键词:CELT微电子学
二氧化钛纳米微粒膜光电化学行为的研究被引量:18
1998年
利用不同的制备方法制备出二氧化钛纳米微粒膜,对二氧化钛纳米微粒膜的光电化学材为和产生的机理进行了研究.结果表明;二氧化钛纳米微粒膜除了具有传统半导体的光电化学性质外,还具有不同于传统半导体的光电化学性质这主要是出膜的微粒性引起的,可综合传统半导体和胶粒半导体两种模型来加以解释。
罗瑾苏连永谢雷周静谢雷周静
关键词:二氧化钛半导体光电化学
电化学微/纳加工分辨率的影响因素及对策被引量:3
1997年
The etching resolution of electrochemical fabrication technique is influenced significantly by the diffusion layer of the etchant. It has been shown that a fast etching rate can achieve higher etching resolution due to so-called heterogeneous scavenging effect, while a lower etching rate will result in rather lower etching resolution. For the latter case, the confined etchant layer technique(CELT) has been employed to improve the etching resolution. i. e., a certain redox couple which can consume the etchant homogeneously and rapidly was added to the solution. The homogeneous scavenging effect confined the etchant within a narrow layer around the electrode surface and much improved etching resolution was achieved. Using the CELT and a needle-shaped microelectrode, an etching spot of several micro-meters was obtained at silicon wafer surface.
祖延兵谢雷罗瑾毛秉伟田昭武
关键词:刻蚀分辨率SECMCELT
共1页<1>
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