邵春雷
- 作品数：6 被引量：0H指数：0
- 供职机构：黑龙江省光电技术研究所更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 光子热丝法沉积金刚石膜(英文)
- 2001年
- 采用一种改进的热丝 CVD系统沉积金刚石膜。在传统热丝 CVD腔中设置一套红外线发 生器，中心波长 3.5μ m,处于氢与甲烷分子拉伸振动吸收峰位置。由于共振吸收能量使反应气 体分解加强 ,在反应区获得较高浓度的原子氢和活性碳氢基团，使金刚石膜的生长速率和品质得到了提高。
- 彭鸿雁申家镜杨贵龙邵春雷魏雪峰杨广亮金曾孙
- 关键词：金刚石膜生长速率CVD
- 紫外光子复合辉光放电化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法
- 紫外光子复合辉光放电化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法，其特征是，它是用紫外光对直流辉光放电化学气相沉积金刚石膜反应腔中的生长衬底表面进行照射。用该方法制备金刚石薄膜具有生长速度快和质量高的优点。
- 申家镜彭鸿雁邵春雷魏雪峰
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- 光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法
- 本发明公开了一种光子—热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法,其特征是在热丝化学气相沉积的工艺中,同时采用波长为3.5μm的红外光对生长衬底表面进行照射。本发明可提高原料气体的分解率,从而提高金刚石膜的沉积速度,改善...
- 申家镜邵春雷彭鸿雁魏雪峰
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- 均匀热场阵列生长金刚石膜管的方法
- 均匀热场阵列生长金刚石膜管的方法，其特征是它是在充有含碳气体化合物等气体的容器内，通过电热丝架使电热丝呈弧口相对的圆弧形竖立排列，且使多根膜管生长丝通过丝架竖直排列在弧口相对的两电热丝列之间。该方法一次制做操作流程可生产...
- 申家镜邵春雷魏雪峰
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- 回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法
- 回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法,其特征是在生长衬底的下部设置能产生可使电子作螺旋曲线运动的环形磁场的线圈。本发明可增加金刚石膜的生长速度,提高金刚石膜的质量。
- 申家镜申辉邵春雷张传胜魏雪峰
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- 均匀热场阵列生长金刚石膜管的方法
- 均匀热场阵列生长金刚石膜管的方法,其特征是它是在充有含碳气体化合物等气体的容器内,通过电热丝架使电热丝呈弧口相对的圆弧形竖立排列,且使多根膜管生长丝通过丝架竖直排列在弧口相对的两电热丝列之间。该方法一次制做操作流程可生产...
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