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陈光
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2
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供职机构:
中国科学院计算技术研究所
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宋庆山
中国科学院计算技术研究所
熊鑫恩
中国科学院计算技术研究所
方光旦
中国科学院计算技术研究所
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作者
2篇
方光旦
2篇
陈光
2篇
熊鑫恩
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宋庆山
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1篇
1995
1篇
1992
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真空溅射系统阴极靶的粘接方法
本发明涉及真空溅射系统阴极靶的粘结方法。其工艺由清洗、溅射镀膜、焊接等步骤组成。该方法摆脱了靶托、靶通常必须在真空、高温条件下,进行焊接的工艺环境。克服了传统靶托、靶材质必须匹配的缺陷,用廉价锡基低温焊锡代替贵金属焊接,...
方光旦
宋庆山
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真空溅射系统阴极靶的粘接方法
本发明涉及直空溅射系统阴极靶的粘结方法,其工艺由清洗、溅射镀膜、焊接等步骤组成。该方法摆脱了靶托、靶通常必须在真空、高温条件下,进行焊接的工艺环境。克服了传统靶托、靶材质必须匹配的缺点,用廉价锡基低温焊锡代替贵金属焊接,...
方光旦
宋庆山
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