高映雪
- 作品数：4 被引量：7H指数：1
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- Langmuir探针法结合发射光谱法诊断螺旋波低压氢等离子体
- 2011年
- 采用Langmuir探针法结合发射光谱法对螺旋波诱导的低压氢等离子体进行诊断,根据Druyvesteyn方法和日冕模型分析电子能量几率函数(EEPF)、有效电子温度(Teff)、电子密度(ne)及激发态氢原子密度(nH*)随实验参数的变化规律。结果表明:随射频功率(Prf)、气压(p)和约束磁场(B)的增大,EEPF峰位由高能向低能移动,Teff下降;当Prf从25W增大至35W左右时,ne发生跳跃增长,而nH*始终随Prf增大线性增长;随p增大,ne和nH*都呈现先增加后减小的变化规律;随B增强,ne线性增长,而nH*先增大后减小。
- 高映雪吴卫东戴阳姜帆
- 关键词：螺旋波等离子体LANGMUIR探针发射光谱
- Langmuir探针诊断低压氢等离子体电子密度与温度被引量：6
- 2010年
- 为研究实验参数对螺旋波诱导的低压氢等离子体状态的影响,用Langmuir探针对等离子体伏安特性曲线进行了原位诊断,采用双曲正切函数的指数变换模型拟合曲线,根据Druyvesteyn方法得到状态参数电子密度、有效电子温度和电子能量几率函数,分析了它们随实验参数的变化规律。结果表明:射频输入功率、气压和约束磁场对等离子体状态有较大影响。随着射频射入功率增大,放电模式发生转变,电子密度跳跃增长;随着气压增大,电子密度先增大后减小,1.5 Pa为最佳电离气压,随约束磁场的增强呈线性增长;有效电子温度随功率和气压的增大而下降,随约束磁场的增强线性降低,电子能量几率函数曲线峰位和高能部分都向低能移动,与有效电子温度变化规律吻合。
- 戴阳吴卫东高映雪葛芳芳黄竞王海平马婷婷
- 关键词：螺旋波等离子体LANGMUIR探针
- 螺旋波诱导氢等离子体的密度跳跃研究被引量：1
- 2012年
- 采用Langmuir探针方法对氢等离子体中电子密度和电子能量概率函数随射频功率的变化进行研究,发现电子密度在射频功率增加过程中出现两次跳跃。通过发射光谱法测得氢等离子体Hα、Hβ和Hγ三条谱线强度比值的变化,进一步验证了密度跳跃现象。该现象说明氢等离子体的放电模式发生了从电感耦合到电容耦合再到螺旋波模式的转变。从电子与氢分子的相互作用和Nagoya typeⅢ型(N-型)天线电场耦合作用两方面解释密度跳跃现象。随着输入功率的增加,电子与氢分子相互作用增强,使电子密度发生跃变;当天线横向电场Ey取最大值,螺旋波轴向波矢kz分别为π/la和3π/la时天线与等离子体耦合最好,分别产生两次密度跳跃。
- 姜帆吴卫东高映雪戴阳王瑜英程新路熊政伟
- 关键词：螺旋波等离子体电子密度天线耦合
- 低温氢等离子体中氢原子分子激发态分析被引量：1
- 2010年
- 采用发射光谱法对螺旋波低温氢等离子体进行诊断,运用Boltzmann图解法分析氢原子激发态,氢分子振动、转动激发态。结果表明:随着输入射频功率增加,氢等离子体发射光谱强度增强,氢原子激发温度升高,氢分子振动激发温度降低,氢分子转动温度降低;随着气压增大,氢原子激发温度降低,氢分子振动激发温度降低,氢分子转动温度升高。
- 高映雪吴卫东戴阳
- 关键词：低温等离子体发射光谱
