高虹
- 作品数:9 被引量:19H指数:3
- 供职机构:贵州大学更多>>
- 发文基金:河南省教育厅自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺矿业工程航空宇航科学技术更多>>
- 无人直升机稳定性飞行研究
- 无人直升机凭借其很强的飞行能力,具有其他无人飞行器所没有的特殊优点,如悬停,定点飞行等等。具有重要的军事和民用价值。其本身是一多自由度、多变量和强耦合的系统,具良好的飞行性能。整个平台的飞行控制算法、管理任务及自主导航能...
- 高虹
- 关键词:无人直升机稳定性飞行姿态
- 铜化学机械抛光材料去除机理研究被引量:5
- 2010年
- 本文根据铜CMP过程中表面材料的磨损行为,建立了铜CMP时的材料去除率构成成分模型,并通过材料去除率实验,得出了各机械、化学及其交互作用所引起的材料去除率及其作用率:当np=nw=200r/min时,有最佳材料去除率,此时单纯的机械作用率为9.2%;单纯的化学作用率为仅为2.1%,抛光垫的机械与化学交互作用率为5.08%;磨粒的机械与化学交互作用率为83.6%。通过对实验结果进行分析,可得如下结论:硅片化学机械抛光中,一定的参数下有一个最优的抛光速度;在最优的速度下,机械与化学之间交互作用达到平衡,这时可获得最高的材料去除率;硅片化学机械抛光过程是一个多变的动态过程,仅仅通过增加机械作用或化学作用不能获得理想的材料去除效果。本文的研究结果可为进一步研究硅片CMP时的材料去除机理提供理论参考依据。
- 苏建修高虹陈锡渠杜家熙宁欣康仁科
- 关键词:化学机械抛光硅片材料去除机理
- 水基6H-SiC单晶衬底化学机械抛光液及其制备方法
- 本发明公开了一种6H-SiC单晶片全局平面化的化学机械抛光液。它以球形微纳米颗粒为磨料,按重量百分比计,其成分包括0.2~10%的1~3种10~250纳米球形颗粒为磨料,0.05~15%分散稳定剂,0.05~25%具有化...
- 苏建修高虹郑素真洪源陈锡渠杜家熙付素芳王占合
- 文献传递
- 提高地方煤矿供电系统安全性的思路被引量:4
- 2006年
- 煤矿供电的安全性是制约安全生产的主要因素之一,文章分析了地方煤矿供电的特点、方式,提出了地方煤矿供电方式存在的不安全隐患,并在分析目前地方煤矿供电状况的基础上,提出了解决供电安全性问题的新思路。
- 高虹
- 关键词:地方煤矿井下供电安全性
- 基于磨损行为的单晶硅片化学机械抛光材料的去除特性被引量:10
- 2009年
- 为了掌握化学机械抛光(CMP)过程中硅片表面材料的去除行为,根据CMP过程中硅片表面材料的磨损行为,建立了硅片CMP时的材料去除率构成成分模型,设计了不同成分的抛光液并进行了材料去除率实验,得出了机械、化学及其交互作用所引起的材料去除率.结果显示,机械与化学的交互作用率为85.7%~99.1%.磨粒的机械作用率为69.5%~94.0%,磨粒的机械与化学交互作用率为55.1%~93.1%.由此可见,磨粒的机械作用是化学机械抛光中的主要机械作用,磨粒与抛光液的机械化学交互作用引起的材料去除率是主要的材料去除率.研究结果可为进一步研究硅片CMP时的材料去除机理提供理论参考依据.
- 苏建修高虹陈锡渠宁欣郭东明
- 关键词:化学机械抛光材料去除机理材料去除率磨损行为
- 一种振动轮侧架气动装配工具
- 本实用新型公开的振动轮侧架气动装配工具主要由十字架工具体(1)、气动千斤顶(2)、压盘(6)、支撑杆(7)、底板(9)组成,十字架工具体固定在底板上形成工具的基座,气动千斤顶固定在十字架工具体上的中间部位,压盘套接在气动...
- 苏建修高虹聂福全陈锡渠马利杰杜家熙宁欣王占奎
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- 一种组合式梯形内螺纹车刀
- 本实用新型公开的是一种用于加工梯形内螺纹组合式车刀,由刀杆(1)、左成形刀具(2)、右成形刀具(3)、开槽刀具(4)、压紧螺钉(5)组成,刀杆上具有装刀孔,左成形刀具、右成形刀具、开槽刀具并排安装在刀杆上的装刀孔中由压紧...
- 陈锡渠聂福全高虹苏建修王占奎孔晓红马利杰杨辉
- 文献传递