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单福凯

作品数：59 被引量：21H指数：2
供职机构：青岛大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金山东省自然科学基金山东省教育厅科技计划更多>>
相关领域：理学电子电信一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 42篇专利
  • 14篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 11篇理学
  • 7篇电子电信
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇化学工程
  • 2篇电气工程

主题

  • 38篇晶体管
  • 20篇半导体
  • 20篇薄膜晶体
  • 20篇薄膜晶体管
  • 13篇场效应
  • 13篇场效应晶体管
  • 12篇退火
  • 10篇低阻
  • 10篇氧化铟
  • 9篇氧化物
  • 9篇热退火
  • 9篇纳米
  • 9篇纳米纤维
  • 9篇溅射
  • 8篇电纺
  • 8篇电纺丝
  • 8篇静电纺
  • 7篇介质
  • 7篇介质薄膜
  • 7篇金属

机构

  • 54篇青岛大学
  • 5篇复旦大学
  • 1篇中山大学
  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 59篇单福凯
  • 47篇刘国侠
  • 29篇刘奥
  • 21篇孟优
  • 7篇谭惠月
  • 6篇朱慧慧
  • 4篇钱士雄
  • 4篇朱春丹
  • 4篇王珍
  • 4篇耿广州
  • 3篇钱江
  • 2篇刘灵芝
  • 2篇孙彬
  • 2篇陈帅
  • 2篇刘帅
  • 2篇龙云泽
  • 2篇孔伟金
  • 2篇云茂金
  • 2篇张红娣
  • 2篇张倩

传媒

  • 6篇青岛大学学报...
  • 2篇光散射学报
  • 1篇量子电子学报
  • 1篇光学学报
  • 1篇无机材料学报
  • 1篇光子学报
  • 1篇光谱学与光谱...
  • 1篇电工技术
  • 1篇2014`全...

年份

  • 4篇2023
  • 2篇2021
  • 2篇2020
  • 4篇2019
  • 10篇2018
  • 5篇2017
  • 9篇2016
  • 5篇2015
  • 5篇2014
  • 4篇2013
  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2000
  • 1篇1998
  • 3篇1997
共 59 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
多层介质膜光栅用高反射镜的严格耦合波分析(英文)被引量：1
2009年
基于严格耦合波和增强透射矩阵的方法,提出了一种数值稳定的求解多层介质膜光学特性的机理模型.利用该模型计算了多层介质膜光栅用高反射镜的优化设计膜系.使用电子束热蒸发方式制备的多层介质膜光谱特性和理论设计的结果符合得很好,该严格耦合波模型是分析介质膜光学特性有效的稳定的数值求解方法.
孔伟金云茂金单福凯范正修邵建达
一种基于水性超薄ZrO<Sub>2</Sub>高k介电层的薄膜晶体管制备方法
本发明属于半导体薄膜晶体管制备技术领域，涉及一种基于水性超薄ZrO<Sub>2</Sub>高k介电层的薄膜晶体管制备方法，结合n型氧化铟和p型氧化镍半导体沟道层制备全水性薄膜晶体管，选用低阻硅作为基底和栅电极，分别采用水...
单福凯刘国侠朱春丹刘奥孟优
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一种金属氧化物钝化的薄膜晶体管的制备
本发明公开了一种金属氧化物钝化的薄膜晶体管的制备，本发明采用溶胶凝胶的制备方法，以Al(NO<Sub>3</Sub>)<Sub>3</Sub>·9H<Sub>2</Sub>O为溶质、N,N‑二甲基甲酰胺为溶剂的前驱体溶液...
单福凯范彩璇刘国侠
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一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板及显示面板
本发明公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板及显示面板，所述制备方法包括步骤：提供一衬底；在所述衬底上制备介电层；在所述介电层上制备ZTO/SnO<Sub>2</Sub>双沟道层，其中，制备ZTO/SnO<Sub>2...
单福凯王珍刘国侠
文献传递
一种多元醇还原技术制备p型氧化物薄膜材料的方法
本发明公开了一种多元醇还原技术制备p型氧化物薄膜材料的方法，首先制备CuO和NiO前驱体溶液；清洗带有SiO<Sub>2</Sub>薄膜层的衬底采用常规的旋涂技术旋涂前驱体溶液，经过旋涂、烘焙、固化、退火得到CuO和Ni...
单福凯刘国侠刘奥
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一种基于毛细凝聚现象的纳米纤维焊接方法
本发明公开了一种基于毛细凝聚现象的纳米纤维焊接方法，首先制备ZrO<Sub>2</Sub>高k介质薄膜；再制备纳米纤维；对毛细焊接处理；进行高温煅烧；最后将离子束沉积源漏电极，得到纳米纤维场效应晶体管。本发明的有益效果是...
单福凯孟优崔友朝刘国侠
一种UV光前处理制备氧化铟/氧化铝纳米纤维场效应晶体管的方法
本发明属于静电纺丝纳米纤维场效应晶体管制备技术领域，涉及一种UV光前处理制备氧化铟/氧化铝纳米纤维场效应晶体管的方法；其工艺步骤主要包括：制备Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>高k介质薄膜、制备纳米纤...
单福凯孟优刘国侠
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一种多层复合氧化物高k介质薄膜晶体管的制备方法
本发明属于半导体材料薄膜晶体管制备技术领域，涉及一种多层复合氧化物高k介质薄膜晶体管的制备方法，先生长GTO多层复合氧化物薄膜得到复合薄膜样品；再将复合薄膜样品退火完成GTO高k介质介电层的制备，得到含有GTO介电层的薄...
单福凯刘国侠刘奥谭惠月
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一步光刻法制备金属氧化物半导体及介电薄膜的方法
本发明公开了一步光刻法制备金属氧化物半导体及介电薄膜的方法，将配制的溶液通过溶胶凝胶技术旋涂制备凝胶薄膜；将制备好的凝胶薄膜置于掩膜版之下，通过紫外光照射,其中氧化物半导体前躯体凝胶薄膜室温光照，氧化物介电前躯体凝胶薄膜...
单福凯郭子栋刘国侠孟优崔友朝
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一种高k介电层水性氧化铟薄膜晶体管的制备方法
本发明属于半导体薄膜晶体管制备技术领域，涉及一种高k介电层水性氧化铟薄膜晶体管的制备方法，先将乙酰丙酮锆溶于二甲基甲酰胺中，同时加入与乙酰丙酮锆等摩尔量的乙醇胺作为稳定剂形成前驱体溶液；再在清洗后的低阻硅衬底上旋涂前驱体...
单福凯刘奥刘国侠孟优谭惠月
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